Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS 300
Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS 300

Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS 300

参考价:¥6万
型号: POLOS 300
产地: 德国
品牌: POLOS
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核心参数
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产品详情

POLOS专为研发和小批量生产而设计。空气动力学效率高的腔室可提高均匀性,而天然聚丙烯或 PTFE 结构可确保无金属、无污染且易于清洁的工艺区域。

  • 有用于手动或自动(可选)化学品分配的桌面版本。

  • In-Deck 版本适合轻松集成到您现有或新的湿台中。 


适用于镀膜、清洗、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺  

     

型号                

SPIN150i                

SPIN200i                

POLOS300                

POLOS450                

POLOS600                

基片范围                

直径160mm                 

或者 4英寸方片                

直径260mm                 

或者 6英寸方片                

直径360mm                 

或者 8英寸方片                

直径

460mm               

或者 12英寸方片                 

直径600mm                 

或者 超大方片                

程序段数                

无限制                

无限制                

无限制                

无限制                

0个程序                

操作步数                

90个步骤                

旋转速度                

0-12,000 rpm ±1rpm steps                

0-1500rpm ±1rpm steps                

旋转精度                

±0.1 rpm                

旋转方向                

顺时针、逆时针、交换摆                

加速度                

30,000 rpm/sec                

1500rpm时取决于负载              

500 rpm/sec                

旋转时间                

无限制*,± 0.1 seconds steps                

1 to 999 sec/step                

腔体直径                

202 mm                

302 mm                

402 mm                

502 mm                

642mm                

触屏控制                

全彩触屏控制                

全彩触屏控制                

全彩触屏控制                

全彩触屏控制                

全彩触屏控制                


南通宏腾微电子技术有限公司为您提供Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS 300,POLOSPOLOS 300产地为德国,属于进口匀胶机,除了Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS 300的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多匀胶机,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 200天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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