EVG620 单面/双面光刻机(带有压印功能）_价格-南通宏腾微电子技术有限公司

产品详情

EVG620 单面/双面光刻机(带有压印功能）

EVG 公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商，其丰富的产品系列包括：涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/

低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系统、基片临时键合/分离系统、纳米压印系统。目前已有数千台设备安装在世界各地，被广泛地应用于 MEMS 微机电系统/微流体器件，SOI 基片制造，3D 封装，纳米压印，化合物半导体器件和功率器件等领域。

设备原理：

EVG620 是一款非常灵活和可靠的光刻设备，可配置为半自动也可以为全自动形式。EVG620 既可以用作双面光刻机也可以用作 150mm 硅片的精确对准设备；既可以用作研发设备，也可以用作量产设备。精密的契型补偿系统配以计算机控制的压力调整可以确保良率和掩膜板寿命的大幅提升，进而降低生产成本。EVG620 先进的对准台设计在保证精确的对准精度和曝光效果的同时，可以大幅提高产能。

应用范围

EVG 光刻机主要应用于半导体光电器件、功率器件、微波器件及微电子机械系统（MEMS）、硅片凸点、化合物半导体等领域，涵盖了微纳电子领域微米或亚微米级线条器件的图形光刻应用。

主要特点及技术参数:

1、主要特点：

。双面对准光刻和键合对准工艺

。自动的微米计控制曝光间距

。自动契型补偿系统

。优异的全局光强均匀度

。免维护单独气浮工作台

。高度自动化系统

。快速更换不同规格尺寸的硅片

。可选配 Nanoalign 技术包以达到更高的工艺能力

。薄硅片或翘曲硅片处理系统可选

。 Windows 图形化用户界面

。完善的多用户管理（用户权限、界面语言、菜单和工艺控制）

。光刻工艺模拟软件可选

。三花篮上料台，可选五花篮台

2、技术参数

南通宏腾微电子技术有限公司为您提供EVG620 单面/双面光刻机(带有压印功能），EVGEVG620产地为德国，属于进口有掩模光刻机，除了EVG620 单面/双面光刻机(带有压印功能）的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多有掩模光刻机,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 200天
培训服务：安装调试现场免费培训

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信息已认证

企业名称: 南通宏腾微电子技术有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码: 91320602MACC00FA7D
成立日期: 2023年03月17日
注册资本: 100万元整
经营范围: 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)

型号：	EVG620
产地：	德国
品牌：	EVG
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