型号: | LAwave |
产地: | 德国 |
品牌: | LAwave |
评分: |
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LAwave®是一种测量设备,通过发射一束激光脉冲,在样品表面激发表面声波,对薄膜或者材料表面进行检测。表面声波是沿着材料表面传播的弹性震动波,弹性形变的范围在纳米范围,因而检测过程不会对材料本身造成损伤。声波的穿透深度与其波长相对应,波的能量主要集中在表面,因此它能检测厚度远小于波长的薄膜。对于频率较高的声波,其波长更短,穿透深度也更小,所以表层薄膜对他的影响也更大。该设备测量不同频率的声波的传播速率与频率的关系,测量结果以“色散曲线”的形式表现出来。“色散曲线”的形状取决于薄膜与衬底材料的弹性模量(杨氏模量)、密度,以及薄膜的厚度。通过对测量曲线的与理论曲线的拟合对比,可以得到这些参数中的一个或者几个。样品表面微结构的梯度变化,例如加工层,也可以被检测。
该设备具有广泛的应用领域。被测量薄膜的厚度可以低至几纳米,薄膜的材料可以是超硬的,如类金刚石镀膜,也可以是软质的,如聚合物。通过调节表面声波的频率范围,还可以检测表面粗糙的热涂层薄膜。
材料的弹性模量(杨氏模量)是一个很重要的参数,它反映了材料内部原子间相互作用的强弱。材料的原子间键合越强,弹性模量越高,其机械性能也越好。同时,材料内部的微结构对弹性模量也有很大的影响,微缺陷和孔隙都会降低材料的弹性模量,因而可以通过测量弹性模量来评估材料的缺陷密度和孔隙率。
主要特性:
无损测量
薄膜的厚度可以从几纳米到几百微米
检测材料范围广,从聚合物到金刚石都可以
测量时间小于一分钟
重复性好
操作方便
结构简单
检测区域:最小5x5mm
对测试样品几何结构要求不高
表面粗糙度的影响小
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