型号: | MProbe Vis |
产地: | 美国 |
品牌: | Semiconsoft |
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Semiconsoft-薄膜厚度测量系统-MProbe Vis
产品型号:MProbe Vis
产品介绍:MProbe Vis薄膜测量系统是紧凑且多功能的台式系统。它可以测量不同基板上10nm – 150μm厚度范围的半透明薄膜。而且,它经济且易于使用。MProbe Vis(X) 的生产版本设计用于承受振动并使用 LAN 连接 24/7 全天运行。它可用于在线和OEM应用。它与洁净室环境兼容。MProbe20 VisX系统是MProbe20 Vis系统的一个版本,在更长的波长(>700nm)下具有更高的灵敏度。
性能特点:
经济且易于使用
参数:
产地:美国
波长范围(可用):400-1000nm(典型校准范围:380-1050nm)和VisX的450nm -1050nm
波长分辨率:< 1nm,20μm狭缝(整个光谱均匀)
厚度范围 : 10nm – 150 μm
精度/重复性:<0.01nm 或 0.02%
精度:<1nm或0.2%
测量光斑尺寸:< 1mm(标准)
最小数据采集时间:10 μs
光源:5W TH灯,使用寿命10000小时(可选:20W TH灯,使用寿命2000小时)
通信接口:USB和1Gb LAN
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