型号: | COMPex 50 |
产地: | 美国 |
品牌: | (美国)相干 |
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应用领域: |
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产品名称:COHERENT准分子激光器COMPex
产品型号:COMPex 50
产品介绍
COMPex准分子激光器是效率高的光源,具有紧凑的设计和易于安装和操作的特点。它们在要求苛刻的应用中提供更佳的结果,如固体取样系统(LA-ICPMS)、材料研究(PLD)和准确的材料处理。COMPex具有陶瓷预电离功能,可提供高达100毫焦耳的输出,以及脉冲上脉冲稳定性。COMPex还配备了一个改进的气体处理器,可以延长气体和光学寿命。
性能特点
l 选择157 nm、193 nm、248 nm、308 nm和351 nm波长,实现全材料柔性
l 高达750 mJ的更好的脉冲能量,可在大视场下进行有效消融
l 0.75%的脉冲稳定性,均方根值,确保高通量控制
l 基础脉冲控制和系统参数记录,提供智能和可复制的薄膜
技术参数
产地:美国
波长:193 nm
脉冲能量:100 mJ
重复频率:max.50 Hz
平均功率:4 W
能量稳定性(1西格玛):≤0.75%
脉冲持续时间(FWHM):典型值20 ns
横梁尺寸(V x H,FWHM):典型值14 x 5 mm2
光束发散(V x H,FWHM):典型值2 x 1 mrad2
光束指向稳定性(1 sigma):≤50µrad
水冷:≤5升/分钟(1.3加仑/分钟),10至20°C
连接:1/2“
重量:280公斤(617磅)
尺寸(长x宽x高):1258 x 375 x 813 mm³
(50 x 15 x 32 in.³)
产品尺寸
产品应用
PLD–脉冲激光沉积
薄晶圆加工
激光剥离
LA-ICP-MS
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