Gigaphoton准分子激光器-GT45A-天津瑞利-GIGAPHOTON_价格-天津瑞利光电科技有限公司

产品详情

GIGAPHOTON-准分子激光器-GT45A

产品型号： GT45A

产品介绍： GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。

性能特点：

模块寿命延长技术

降低维护频率

提高生产率

减轻环境负荷

可选功能与配件：

可以搭载GT65A可使用的功能和技术

技术参数：

产地：日本

发射波长：193 nm

平均输出功率：45 – 90 W

脉冲能量：11.25 – 15 mJ

发射频率：4,000 – 6,000 Hz

光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,）：≤0.5 pm

数据采集：监控的方式

输出方式：晶圆输出

光谱带宽：可变化

光谱宽度：稳定

产品应用：

半导体工业

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售后服务

产品货期： 30天
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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 天津瑞利光电科技有限公司
企业类型: 有限责任公司
信用代码: 91120118MA05MALTXU
成立日期: 2016年12月27日
注册资本: 伍佰捌拾万元人民币
经营范围: 光电技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;光电设备、光学仪器、机电设备及配件、电气成套设备、工业自动化控制设备、电子设备、智能设备、通讯设备、仪器仪表、实验室设备、五金交电、电线电缆、环保设备、汽车配件、工艺品、办公用品的销售;自营和代理货物及技术的进出口业务;光电设备安装、调试及检修(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

型号：	GT45A
产地：	日本
品牌：	Gigaphoton
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