型号: | RC 匀胶系列 |
产地: | 台湾 |
品牌: | M&R |
评分: |
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桌上型匀胶工作站RC匀胶系列产品是一款高效、多功能的涂覆设备,主要用于将各种胶水、胶液等物质均匀涂覆在基底材料上。以下是该系列产品的详细介绍:
产品特点
1. 多功能性:该系列匀胶机不仅具有匀胶功能,还具备清洗、显影和干燥等多种功能,适用于多种应用场景。
2. 高精度涂覆:利用电机高速旋转时产生的离心力,将胶液均匀地涂敷在基底材料表面,形成微米或纳米厚度的均匀薄膜。
3. 大样品处理能力:旋涂机样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片,满足大部分科研和生产需求。
4. 用户友好操作:配备直驱旋涂电机和全轴电机驱动系统,软件提供用户友好的操作界面,方便用户进行设置和监控。
5. 安全性能:带有安全中断传感器的透明盖,确保操作过程的安全。
技术参数
衬底尺寸:最大可达Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)。
电机转速:最大10,000 rpm,步长1 rpm,可满足不同涂覆需求。
电机加速:最大4,000 rpm/s,实现快速稳定的转速变化。
步进时间:1至999.9秒,步长为0.1秒,精确控制涂覆时间。
可选配项
自动液体输送臂:实现自动加液,提高涂覆效率。
液体罐:用于存储胶液,确保连续涂覆。
防溅环:防止涂覆过程中胶液溅出。
废液池:收集废液,方便处理。
影响因素
匀胶转速和时间**:转速快、时间长,形成的胶膜厚度较薄。用户可以根据实际需求调整这些参数。
基片加速度:匀胶过程中基片的加速度也会对胶膜的性能产生影响,用户需要注意这一点。
应用领域
桌上型匀胶工作站RC匀胶系列产品广泛应用于大学、研究所等科研实验室,以及半导体制造、光伏产业等领域,是实现高质量涂覆的必备工具。
总结
桌上型匀胶工作站RC匀胶系列产品凭借其高精度涂覆、多功能性和用户友好操作等特点,成为科研和生产领域中的优选设备。无论是从技术参数、可选配项还是应用领域来看,该系列产品都能满足各种涂覆需求,为用户提供高效、可靠的涂覆解决方案。
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