气体纯化器

在半导体工业生产中,几乎各道工序都用到超纯气体,按其用途可分为保护气体,反应气 体以及运载气体。从气体种类又分为超纯大宗气和电子特气。超高纯大宗气体包括氮气，氢气，氧气，氩气，氦气和压缩空气等。主要用于半导体及光伏太阳能生产中作为载气、稀释气、冷却气、吹扫气、氧化气、燃烧气等。电子特气作为特种气体的一种，在电子产品制程中广泛应用于刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等半导体材料的“粮食”和“源”。

极微量的杂质就可能破坏半导体产品的结构，影响产品的强度、镀膜厚度、导电性、表面完好性及效率，同时也会对机台本身产生影响。

目前气体公司供应气体方式暂时无法提供更高纯度气体，普通气体纯度：4N~5N（99.99%~99.999%），需通过纯化到7N-9N（99.99999%~99.9999999%）才可以满足半导体精密制造、光伏器件需求环境。而这，是需要搭配一些纯化手段才能达到的结果。

华邦化学气体纯化器通过化学吸附和物理吸附相结合的方式，可将工艺气体中的杂质脱除深度至0.1ppb以下，配备316L EP级吸附管，洁净施工，并且内置0.003微米316L颗粒过滤器；用心制造，用心服务。

华邦化学气体纯化器标准型号范围从2slpm到2000slpm各型号可选，可配各式接口，同时提供定制服务，满足各种环境下的产品使用方式。

华邦化学气体纯化器的产品分类：

01管式POU纯化器：

最常见，应用范围最广POU纯化器，多为外延、氧化、扩散、CVD、MOCVD等半导体机台工艺设备提供超纯气体；

02柜式POU纯化器：

主要用于大流量，不连续的使用场景。多用于大型纯化设备进厂前的临时使用；

03台式POU纯化器：

多用于实验室，小流量的Ar和He气体脱除N2和CH4杂质；

04高压POU纯化器：

主要用于气体需要较高工作压力下的场景；

华邦化学气体纯化器吸附剂寿命测试方法：

每批吸附剂均通过1000次短周期再生-吸附寿命试验，性能无衰减，证明可使用20年。

华邦化学气体纯化器催化剂寿命测试方法：

每批通过100小时，1.5倍超高温运行性能衰减性能测试，确保20年运行性能不减。

华邦化学掌握HPC气体纯化器核心技术，自行开发生产的催化剂、吸附剂，並不断开发更高性能的催化剂。公司共申请知识产权40余项、授权发明专利2项、实用新型专利16项，形成较为完善的自主知识产权体系。

高质量元器件、洁净装配、出场前测试；严格的质量管控、周到的质量跟踪服务；拥有西安、长沙两个大型纯化器长期运行测试基地，开发的每个系列的设备，均经过超过24,000小时测试。

我们有千万级的常备库存，能保证国内范围最快到货，持续稳定供应过硬品质产品，如有兴趣可随时联系我们。