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Plasma-Therm沉积设备PECVD / HDPCVD
AXIC低温低损伤等离子体增强化学气相沉积(ICP PECVD)
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 400
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