2015全国电镜年会拾贝——回眸中国自主研发场枪电镜历程

    仪器信息网、中国电子显微镜学会、中国电镜网联合报导：在近日举行的2015全国电子显微学学术年会暨第四届全国激光共聚焦显微技术理论与应用学术交流研讨会上，有一个国产电镜厂商的报告引起与会者格外关注。

第一分会场：显微学方法、技术与仪器，原位表征

　　15日下午的第一分会场中，来自中科科仪的王大千博士向参会人员介绍了我国首台自主研发的场发射枪扫描电镜的研制历程。

中科科仪王大千博士

　　九五期间，中科科仪开展场发射电子源研究。十一五期间参与国家科技支撑项目——场发射枪透射电子显微镜的研制，即研发200kv透射电镜用肖特基场发射枪。

　　2012年由北京市科技计划支持，中科科仪承担了场发射电子枪研发与产业应用培育项目。

　　2013年，由科技部仪器专项支持，中科科仪与北京大学合作，开展场发射扫描电子显微镜的开发和应用，在清华大学、生物物理所、微电子所及环境中心等单位开展了一系列应用研究。

　　2014年，中国首台自主研发的场枪扫描电镜KYKY-EM8000F出厂，并落户中国科学院大学。

　　报告最后，王大千展示了该场枪电镜所拍摄的图像。据他介绍该电镜能达到25万倍的高分辨率，并且第三方专家测试分辨率为1.4nm@30kv。（撰稿：史秀明）