低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统研制

成果名称

低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统

单位名称

中科院物理研究所

联系人

郇庆

联系邮箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

√正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产

合作方式

√技术转让   √技术入股   □合作开发  √其他

成果简介：
   

    该系统是针对SPM的专业研究应用所研发的。采用自制杜瓦型低温恒温器，可获得最低5K的低温，制冷剂利用效率高。特殊设计的扫描探头结构紧凑、体积小巧，具有极好的机械和温度稳定性。兼容目前主流商业化样品架，可原位更换针尖、样品和沉积分子/原子。集成了基于tuning fork技术的AFM，可在STM和AFM两种模式下工作。系统同时集成了专业的MBE腔体和独立的样品处理腔，具有液氮的冷屏和多达7个蒸发源安装位置，可以通过RHEED和LEED等手段监控生长。尚在研发中，主要技术指标待测。

应用前景：
     纳米表征和研究的重要工具，国内每年需求量在数十台。

知识产权及项目获奖情况：
     发明专利：201510345910.8