导读:该部件采用超高真空兼容设计(CF35 法兰), 具有水冷和手动挡板功能。其水冷采用特殊设计结构,具有水冷效率高、不需要区分进水/ 出水口的特点。专利设计的坩埚结构,可以在不破坏加热钨丝的情况下更换蒸发材料。
成果名称 | 电阻加热蒸发源及控制器 | ||
单位名称 | 中国科学院物理研究所 | ||
联系人 | 郇庆 | 联系邮箱 | qhuan_uci@yahoo.com |
成果成熟度 | □正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产 | ||
合作方式 | √技术转让 √技术入股 □合作开发 √其他 | ||
成果简介: 电阻加热坩埚的方式,对材料进行热蒸发。该部件采用超高真空兼容设计(CF35 法兰), 具有水冷和手动挡板功能。其水冷采用特殊设计结构,具有水冷效率高、不需要区分进水/ 出水口的特点。专利设计的坩埚结构,可以在不破坏加热钨丝的情况下更换蒸发材料。目前 该设备已在国内外多家单位进行了尝试性推广,包括中科院物理所、清华大学、北京大学、 南京大学、华东理工大学、法国 CEA、美国加州大学 Irvine 分校、美国 LBNL,效果良好。 其主要技术指标为: 温度测量: 有 K型热电偶 | |||
应用前景: | |||
知识产权及项目获奖情况: |
来源于:仪器信息网
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