FF-63/70、FF-100/300脂润滑复合分子泵

单位名称

北京中科科仪股份有限公司

联系人

朱国精

联系邮箱

zhugj@kyky.com.cn

成果成熟度

□正在研发   □已有样机   □通过小试   □通过中试   √可以量产

合作方式

□技术转让    □技术入股    □合作开发    √其他

成果简介：

本项目产品为基于分析仪器行业应用的小型脂润滑复合分子泵，包括FF-63/70、FF-100/300两个型号。所涉及的关键技术主要有：涡轮级叶片、牵引级圆盘型螺旋槽气体输运特性分析；整体式涡轮转子的强度校核及高速铣削加工工艺；高速转子轴系动力学特性分析及减振结构设计；高速直流电机及驱动控制系统设计。其中，整体式涡轮转子高速铣削加工、高速直流电机及驱动技术达到国际一流水平。

主要技术指标：

技术特点：

分子泵体积小、转速高，对氦气、氢气等小分子气体有较高的压缩比;

采用整体复合型涡轮转子，并通过HSM600高速铣加工中心规模化生产，提高产品一致性和可靠性，同时较好的控制成本;

对高速轴系设计轴向、径向相结合的复合减振方案，保证高速转子稳定运行。

应用前景：

主要为各类仪器和真空平台提供所需洁净的高真空环境，产品主要应用于质谱分析、表面科学、激光、薄膜沉积、实验室科研等领域。

知识产权及项目获奖情况：

本项目产品完全自主研发，拥有完全自主知识产权。

暂无申请专利。