Horiba椭偏仪AutoSE获IC新品奖
Horiba JobinYvon在此非常高兴地向大家宣布，在斯图加特举行的SEMICON Europa会议 (2008年10月) 上，我公司的新品Auto SE荣获 “2008 IC产业新产品奖（2008 IC Industry New System Award）”。一年一度的“IC产业新产品奖”是半导体业界对产品和服务的评估的重要平台。
Horiba JobinYvon 薄膜测量部市场部主任 Mélanie Gaillet 在获奖现场
Horiba JobinYvon 薄膜测量部副主任Denis Cattelan说：“我们坚信，快速、简便而又精准的薄膜测量工具—— Auto SE将成为椭圆偏振光谱仪行业的转折点！的可视化系统MyAuto View展示了光斑的精确位置，是图形化样品特性测量的理想工具。作为Auto SE的创造者，能获得此殊誉，我们感到非常高兴和自豪。Auto SE是我公司薄膜测量部工作人员刻苦钻研和辛勤劳动的结晶。”
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新品Auto SE是一种操作简便的、实用性强的全自动椭圆偏振光谱仪，用于单层或多层薄膜样品的厚度和光学常数的分析测量。这种新产品完全符合薄膜测量的质量控制及研究的要求。 Auto SE 具有超高自动化程度：可以全自动的载入样品、自动校准调整以及自动成像；能根据客户要求自动选择8种不同大小的光斑，光斑小可达25×60 μm；同时拥有的光斑可视化系统（技术）。 操作直观的Auto Soft软件，加上先进的机器构造和不断更新的新材料的模型，使得繁琐的薄膜分析变得简单易行，只需按动几个按钮，即可完成。 |
来源于：法国HORIBA Jobin Yvon公司
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