日本电子发布冷场发射12极子球差校正透射电镜新品

2020年02月14日，日本电子（JEOL Ltd.）总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布发布全新原子分辨率分析电子显微镜JEM-ARM300F2（GRAND ARM™2），该电子显微镜将于2020年2月发布。

■ 主要特点

1 超高空间分辨率与能谱分析的组合优化。

新开发的FHP2物镜极靴的特点如下：

1）提高了能谱分析效率到两倍以上。

2）低光学系数，低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析能够在一定范围的加速电压下执行。

（保证的STEM分辨率：300kV时53pm，80kV时96pm）^*

*在配置STEM扩展轨迹像差（ETA）校正器时

2 用于物镜的超宽极靴（WGP）能谱分析灵敏度超高，原位扩展极强。

1）WGP极靴的能谱固体角为2.2 sr。

2）WGP极靴宽度可达6mm，更方便进行各种类型的原位实验。

3 JEOL开发的12极子球差（Cs）校正器和自动校正软件。

1）FHP2极靴，GRAND ARM™2在300 kV时的STEM分辨率达到53 pm。

2）WGP极靴，GRAND ARM™2在300 kV时的STEM分辨率达到59 pm。

3）JEOL COSMO™（自动校正软件）使快速，轻松执行像差校正成为可能。

4 新式冷场发射枪（Cold-FEG）。

GRAND ARM™2配备了新式Cold-FEG，可从电子源提供较小的能量散布。稳定性更好。

5 减轻外部干扰的外壳

这种新外壳是减少外部干扰（例如气流，室内温度变化和噪音）的标准。

■主要规格

保证分辨率	HAADF-STEM图像：53pm（带ETA校正器和FHP2） 电子枪：冷场发射枪（Cold-FEG）
加速电压	标准：300kV和80kV
能量色散X射线光谱仪	大面积SDD（158mm2）：可以使用双探测器

创新点：

1）更稳定的得到冷场发射电子枪； 2）更高级的自动球差校正软件 3）更高效的能谱分析功能

冷场发射12极子球差校正透射电镜