国内首台!中科院旗下公司成功研制半导体行业重要检测设备

　　2020年6月22日，中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司(光华微电子)宣布研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。

　　晶圆探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业重要的检测装备之一，用于晶圆加工之后、封装工艺之前的晶圆测试环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。经过检测，探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以剔除，从而大幅度降低器件的制造成本。

　　由于探针台技术门槛较高，目前市场处于双强垄断态势，东京电子(TEL)和东京精密(TSK)两家日本公司占据了绝大部分市场份额。我国有关单位在探针台研制方面已有多年技术积累，产品以8英寸为主，主要面向LED等产业。光华微电子于2015年正式立项开展12英寸全自动探针台产品研发，先后突破了全自动上料机械手的设计、大行程微米级XY移动平台精密定位控制技术、高刚度高稳定性探针接触Z向移动平台精密控制技术、基于图像识别的晶圆和探针精密测量和对准技术、大数据量的信息处理和计算机控制技术、高平面度和高热稳定性的晶圆承载盘技术等六项关键技术，于2019年起先后在功率半导体器件、光电探测器、逻辑半导体器件的骨干企业进行了样机测试，测试结果表明产品已经能够满足产线生产要求，具备替代国外进口设备用于晶圆探针检测能力。

光华微电子 APT121A晶圆测试探针台

　　根据光华微电子官网介绍，光华微电子研制的APT121A型探针台作为国内第一款商业化的12英寸全自动晶圆测试探针台，能够满足12英寸、8英寸晶圆的测试需求，通过高精度定位平台、高刚性晶圆承载台和高分辨率探针相机及俯视相晶圆相机，实现全自动上下晶圆、对针和高精度测试。其性能指标已经达到或者接近国际水平，能够降低晶圆测试厂的采购及维护成本，将对我国的半导体产业发展产生积极的推动作用。

　　光华微电子公司是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所机电工程研究部于2002年转制而成立的一家高科技股份有限公司，近20年来专注于被动电子元件和微电子设备的研发、生产，其主要产品分布在晶片电阻生产设备、半导体生产设备、激光精细加工设备、精密机械产品等4个领域。在国内有大量中资、台资、港资、美资和韩资企业用户，其中晶片电阻生产设备市场占有率达70%以上。