中科院半导体所800万采购相关设备
导读：8月5日，中国科学院半导体研究所发布厚膜掺杂等离子体增强淀积设备、高质量离子束溅射镀膜系统采购项目公开招标公告，预算金额800万元。
8月5日，中国科学院半导体研究所发布厚膜掺杂等离子体增强淀积设备、高质量离子束溅射镀膜系统采购项目公开招标公告，预算金额800万元。
项目编号：OITC-G200331121
项目名称：中国科学院半导体研究所厚膜掺杂等离子体增强淀积设备、高质量离子束溅射镀膜系统采购项目
预算金额：800.0 万元(人民币)
最高限价(如有)：800.0 万元(人民币)
采购需求：
| 包号 | 货物名称 | 数量（台/套） | 是否允许采购进口产品 | 采购预算（万元人民币） |
| 1 | 厚膜掺杂等离子体增强淀积设备 | 1 | 是 | 221 |
| 2 | 高质量离子束溅射镀膜系统 | 1 | 是 | 579 |
来源于：仪器信息网
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