上海市采购量独占鳌头——半导体仪器设备中标市场盘点系列之CVD篇

薄膜沉积是集成电路制造过程中必不可少的环节，传统的薄膜沉积工艺主要有物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等气相沉积工艺。而化学气相沉积主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。

化学气相沉积技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术。由于CVD技术具有成膜范围广、重现性好等优点，被广泛用于多种不同形态的成膜。CVD技术可广泛应用到集成电路、半导体、金属精制、光伏电池、高技术陶瓷等制造领域，其中，集成电路、半导体是其主要应用领域。

仪器信息网近期特对一年内的薄膜沉积设备的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。（注：本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台，不完全统计分析仅供读者参考。）

各月中标量占比

2019年10月至2020年9月，根据统计数据，CVD设备的总中标为122，涉及金额上亿元。2019年10月至12月，平均中标量约13台每月。2020上半年，由于疫情影响，1月至4月中标市场持续低迷，平均中标量约5台每月。随着国内疫情稳定以及企业复产复工和高校复学的逐步推进，CVD设备中标市场活力回升，其中7月产品中标量达18台。

采购单位性质分布

从CVD的招标采购单位来看，高校、企业和科研院所是采购的主力军，采购量分别占比34%、39%和27%，高校采购占比较大。值得注意的是，企业和科研院所采购设备的单价较高，集中于高端设备。其中，在企业采购中，上海华力集成电路制造有限公司、厦门市三安集成电路有限公司和上海华力微电子有限公司前三，上海华力背后都是相同的创始人。

招标单位地区分布

本次盘点，招标单位地区分布共涉及23个省份、自治区及直辖市。上海、江苏、北京、浙江、广东为CVD设备采购排名前5的地区，其中上海的中标量最多，达23台。在这些地区中，上海和江苏的CVD设备采购以企业为主力，北京和广东以科研院所采购为主力，浙江以高校采购为主。这主要由于上海和江苏是我国集成电路产业发达地区。

不同类型CVD设备占比

CVD设备种类繁多，包含了PECVD、MPCVD、LPCVD等类型。根据搜集到的中标数据可知，PECVD占据了中标CVD设备的主流、高达60%的CVD设备采购为PECVE（等离子体增强化学气相沉积）。等离子体增强化学气相沉积是在化学气相沉积中，激发气体，使其产生低温等离子体，增强反应物质的化学活性，从而进行外延的一种方法。该方法可在较低温度下形成固体膜。等离子体增强化学气相沉积的主要优点是沉积温度低，对基体的结构和物理性质影响小；膜的厚度及成分均匀性好；膜组织致密、针孔少；膜层的附着力强；应用范围广，可制备各种金属膜、无机膜和有机膜。

目前CVD设备厂商众多，以下为CVD设备的主流厂商名单。

Applied Materials

Adeka Corporation

Plasma Therm

Aixtron SE

Tokyo Electron

IHI Group

Lam Research Corporation

Kurt J Leskar

Vecco Instruments

北方华创

沈阳拓荆

沈阳科晶

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