总预算超三千万，中南大学密集采购一批半导体设备
导读：2020年12月30日以来，中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台发布了一系列招标公告，采购半导体设备，总预算达3550万元人民币。
2020年12月30日以来，中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台密集发布了一系列招标公告，采购半导体设备，涉及光刻机、刻蚀机等设备，总预算达3550万元人民币。
以下为采购清单：
| 项目编号 | 项目名称 | 采购需求 |
预算金额 |
| HNXZ-2020-ZB02-RKZB-0327-30 | 《中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台原位纳米机电加工系统采购项目》 |
原位纳米机电加工系统1套 | 760万元 |
| HZ20200207-0224 | 《中南大学高等研究中心微纳加工及器件制造平台无掩膜光刻机采购项目》 |
无掩膜光刻机1台 | 560万元 |
| HZ20200201-0219 | 《中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目》 |
电子束蒸发仪、磁控溅射仪各一台 | 430万元 |
| HZ20200201-0223 | 《中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台反应离子刻蚀机、感应耦合等离子刻蚀机采购项目》 |
反应离子刻蚀机、感应耦合等离子刻蚀机各一台 | 600万元 |
| HZ20200202-0216 | 《中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束曝光仪采购项目》 | 电子束曝光仪1套 | 1200万元 |
来源于：仪器信息网
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