2020年度中国市场电镜新品盘点

2020年已经远去，这一年，电镜人对电子显微学的热情没有因为疫情而减弱。中国电子显微镜学会迎来成立40周年，其主办的“2020年全国电子显微学学术年会”再次突破1300余人，仪器信息网联合中国电子显微镜学会共同主办的“第六届电子显微学网络会议(iCEM 2020)” 参会报名更是达3500余人。行业的发展离不开新产品新技术的更新迭代，2020年度电镜新品推出受疫情影响有所减少，仪器信息网统计到8款新品上市。以下共同回顾下2020年度的那些电镜新产品新技术。

近20年电子显微学仪器技术发表文章趋势图

（检索条件——数据库：web of science核心集合；检索主题：扫描电镜OR透射电镜；研究方向筛选：电子显微学与仪器仪表）

首先，电子显微学仪器技术相关发表文章情况来看，以上检索条件下的五千余篇文章，近20年来，电子显微学仪器技术相关发表数量逐年走高，2010年迎来快速发展；年度被引频次接近指数增长，2020年出现下滑。

国家分布柱状图

国家分布来看，美国以占比约20%领先，中国、日本、德国、英国紧随其后。

机构分布树状图

机构分布来看，发布电子显微学仪器技术相关文章较多的机构包括中国科学院、剑桥大学、名古屋大学、牛津大学、橡树岭国家实验室、日本电子、大阪大学、日立高新、代尔夫特理工大学等。

2020年电镜新品上市信息一览

扫描电镜篇

日本电子-场发射扫描电子显微镜JSM-IT800系列【产品链接】

场发射扫描电子显微镜JSM-IT800系列

上市时间：2020年5月

创新点——大束流，长寿命电子枪，智能化操作，无漏磁物镜，大开门装样，实时能谱

JSM-IT800的场发射扫描电镜通用性强，可广泛应用于纳米材料、金属材料、半导体材料、化学化工、医学及生物学领域，可高效观察包括非导体样品及强磁性样品等。

JSM-IT800SHL分辨率可达0.5nm,成像能力强大。浸没式电子枪可提供500nA大电流，EDS和EBSD分析速度极快。

另外JSM-IT800系列还搭载了众多全新研发的电子光学技术，自动化程度极高。

日本电子-触摸屏控制热场发射扫描电子镜 JSM-IT700HR【产品链接】

InTouchScope™ 热场发射扫描电子显微镜 JSM-IT700HR

上市时间：2020年8月

创新点——自动化与高分辨的完美匹配

扫描电子显微镜广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域，从基础研究到工厂的品质管理等用途也在不断地扩展。不仅以研究为目的，快速高清晰图像的数据采集和更简便的元素分析的需求也在大大提高。 随着技术的不断创新，观察的样品也越来越小，微小样品的测定已经常态化。 基于此，浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。

该设备最高分辨率1nm（高分辨）、最大探针电流300nA（是之前的15倍，告诉分析），可提供丰富的观测和分析信息。 触屏式用户界面操作，简单，设计紧凑，代表了现代仪器的使用趋势和发展方向；配备大样品室和更好的防震台，实现了从【能见】-【易见】的转变。 在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能，实时了解在测样品的分析深度（参考），有效用于元素分析中。

该机种有低真空观察型JSM-IT700HR/LV和低真空观察分析型 JSM-IT700HR/LA两种型号。

赛默飞-新一体化钨灯丝扫描电镜 Axia ChemiSEM【产品链接】

赛默飞Axia ChemiSEM 钨灯丝扫描电镜

上市时间：2020年11月

创新点——新一体化钨灯丝扫描电镜 Axia ChemiSEM，该仪器将微区成分分析与电镜成像集成在同一平台上，快速提供所需微观形貌及实时成分信息，帮助学术和工业用户快速获得全面、可靠的数据，准确执行故障分析和缺陷检测。

更优化的SEM-EDS分析方法

几十年以来，SEM-EDS的分析流程几乎没有变化：首先，扫描电镜（SEM）提供形貌/微观结构信息，然后，能谱（EDS）提供成分信息。Axia ChemiSEM则打破几十年以来的固有成规，提供更优化的SEM-EDS分析方法，将使材料分析产生重要变化：

■ 一张图像即可解读形貌与成分信息；

■ 缩短分析时间，速度提高至传统SEM-EDS的两倍

高度灵活

■ 无需特别样品制备和切割，大而重（可重达10kg）样品可轻松加载；

■ 样品台轴可拆卸，可加载超大样品。

操作简单，人人可用

■ 先进自动化功能，无需对中，成像简单且重复性高；

■ 用户指导基于样品类型，可快速提供支持。

Delmic-超快自动多束电子显微镜FAST-EM【产品详情】

超快的自动多束电子显微镜FAST-EM

上市时间：2020年12月

创新点——FAST-EM，一台创造了根本性转变的电子显微镜，实现前所未有的大面积纳米级成像，同时为操控人员腾出时间专注于数据分析和注释。

FAST-EM由赛默飞 （Thermo Fisher Scientific）和荷兰Delmic公司联合开发的超快速自动多光束电子显微镜，旨在使复杂且大型的电镜项目变得简单高效。据介绍， FAST-EM使用64电子束并缩短驻留时间，使得扫描电镜提速100倍，同时为操控人员腾出时间专注于数据分析和注释。由于其高达4纳米的分辨率，FAST-EM将帮助神经生物学和癌症研究等领域实现高而准确的通量。

FAST-EM可用于探索细胞结构，神经元回路网络以及生命科学中的各种生物材料的分析。对于大规模3D结构解析以及批量2D成像都十分有帮助。另外作为通用工具， 还可以显著加快日常其他常规显微成像工作的速度。

透射电镜篇

日本电子-冷场发射12极子球差校正透射电镜【产品链接】

冷场发射12极子球差 校正透射电镜 JEM-ARM300F2（GRAND ARM™2）

上市时间：2020年2月

创新点——1）更稳定的得到冷场发射电子枪； 2）更高级的自动球差校正软件 3）更高效的能谱分析功能

1 超高空间分辨率与能谱分析的组合优化。

新开发的FHP2物镜极靴的特点如下：

1）提高了能谱分析效率到两倍以上。

2）低光学系数，低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析能够在一定范围的加速电压下执行。

保证的STEM分辨率：300kV时53pm，80kV时96pm（在配置STEM扩展轨迹像差（ETA）校正器时）

2 用于物镜的超宽极靴（WGP）能谱分析灵敏度超高，原位扩展极强。

1）WGP极靴的能谱固体角为2.2 sr。

2）WGP极靴宽度可达6mm，更方便进行各种类型的原位实验。

3 JEOL开发的12极子球差（Cs）校正器和自动校正软件。

1）FHP2极靴，GRAND ARM™2在300 kV时的STEM分辨率达到53 pm。

2）WGP极靴，GRAND ARM™2在300 kV时的STEM分辨率达到59 pm。

3）JEOL COSMO™（自动校正软件）使快速，轻松执行像差校正成为可能。

4 新式冷场发射枪（Cold-FEG）。

GRAND ARM™2配备了新式Cold-FEG，可从电子源提供较小的能量散布。稳定性更好。

5 减轻外部干扰的外壳

这种新外壳是减少外部干扰（例如气流，室内温度变化和噪音）的标准。

赛默飞-Tundra冷冻透射电子显微镜(Cryo-TEM) 【产品链接】

Tundra 冷冻透射电子显微镜 (Cryo-TEM)

上市时间：2020年11月

创新点——这是一款突破性的仪器，它简单易用，价格可承受，让更多科学家能够用上冷冻电镜。为更多的科学家带来革命性的低温电子显微镜技术与成本效益，易于使用的低温透射电子显微镜。专为非专业人士设计的结构确定方案，易于安装、维护和操作。

据介绍，Tundra采用了人工智能、引导式自动化技术和新型的加样器，极大地简化了电镜的使用，让更多研究人员能轻松使用冷冻电镜。集成的低温加样站取代了之前的手动操作，可快速稳定地加样并转移到显微镜中，用于结构测定。此外，它的价格更实惠，让更多的研究机构和制药公司能够获得结构信息。

赛默飞生命科学部门的副总裁兼总经理Trisha Rice表示：“冷冻电镜可加速对疾病的了解和治疗。不过，由于成本高昂，而且对新用户而言操作复杂，许多机构觉得这些工具遥不可及。我们与冷冻电镜领域的权威专家合作开发的这一款冷冻电镜，不仅可为用户提供结果，更重要的是，让更多用户能够用上冷冻电镜。”

Tundra丰富了赛默飞的冷冻电镜产品系列，是更多用户可以使用的一款普及型仪器。它是对中程冷冻电镜单颗粒分析（SPA）的多功能解决方案Thermo Scientific Glacios 冷冻电镜以及性能和效率强大的Thermo Scientific Krios冷冻电镜的有力补充。这三台冷冻电镜可独立或联合使用，研究人员可根据自己的研究需要选择最合适的仪器。

台式电镜篇

库塞姆-EM-30高分辨率台式扫描电镜系列

EM系列高分辨率台式扫描电镜：EM-30、EM-30⁺、EM-30^N

上市时间：2020年4月

创新点——COXEM（库赛姆）EM系列高分辨率台式（桌面式）扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，采用双聚光镜成像技术，与大型扫描电镜的成像方式一致，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而可以获得更高的分辨率（<5nm），图像表面信息更丰富细腻，是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。

EM-30高分辨率台式扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像原理 ，使用二次电子探测器作为基础 成像单元 ，从而可以获得更高的分辨率（<5nm），是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。

EM-30⁺超高分辨率台式扫描电镜，将台式电镜的分辨率提高到优于5nm的水平，可与传统大型扫描电镜相媲美。同时配置了二次电子检测器及背散射电子检测器。使得台式电镜具备了完备的表面形貌及元素衬度的观测分析功能。

EM-30^N高分辨台式扫描电镜打破了传统台式电镜采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像原理，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而可以获得更高的分辨率（5

聚焦离子束扫描电镜篇

赛默飞-聚焦离子束扫描电子显微镜Helios 5 Laser PFIB【产品链接】

聚焦离子束扫描电子显微镜Helios 5 Laser PFIB

上市时间：2020年5月

创新点——完全集成飞秒激光系统的Helios 5 Laser PFIB，这是一台先进的聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM），可以利用纳米级分辨率实现快速3D表征毫米尺度材料。

Helios 5 Laser PFIB集成了最好的Thermo Scientific Elstar SEM镜筒（用于超高分辨率成像和先进的分析能力）、等离子FIB镜筒（可在所有操作条件下实现最佳性能）以及飞秒激光，可实现以从前无法通过商业化产品获得的速率进行原位材料刻蚀。Helios 5 Laser PFIB是业界领先的Helios系列第五代产品的一部分。

Helios 5 Laser PFIB极大地加快了学术和工业用户的研究步伐，使他们能够在几分钟之内完成材料的表征，而之前需要花费的几天的时间。研究人员不仅可以针对定点的毫米大小的截面在纳米级分辨率下快速、准确地成像且更具有统计意义，还可以设置大体积的3D分析，使其在一夜之间自动完成，从而使显微镜空出时间来用于其他用途。

Helios 5 Laser PFIB使研究人员可以获得准确的大体积3D和次表面数据，其速度比典型的镓离子源聚焦离子束（Ga-FIB）快15,000倍。对于许多材料，Helios 5 Laser PFIB可以在不到5分钟的时间内刻蚀数百微米的大截面。借助激光和等离子FIB的组合，现在可以进行连续截面层析成像，并且当与EDS和EBSD检测器结合使用时，可以扩展到毫米级的3D元素和晶粒取向分析。

附1

2019年度中国市场电镜新品盘点

2018年度中国市场电镜新品盘点

附2 电镜相关仪器专场

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