HORIBA携流体控制与药液监测方案亮相SEMICON

仪器信息网讯 3月14日，SEMICON CHINA 2021在上海新国际博览中心拉开帷幕。本届展会以“跨界全球，心芯相联”为主题，吸引了来自全球的半导体方案提供商，HORIBA也前来参加这一盛会，为工业及科研用户带来了先进的半导体制造过程相关测量·控制技术。

HORIBA展台

质量流量控制器是一种可直接测量气体的质量流量并进行流量控制的设备，可用于半导体干法刻蚀、PVD\CVD、氧化扩散等工艺中的气体流量控制。不同的工艺环节对于气体流量的控制要求不同，针对不同类型的用户需求，HORIBA提供了不同型号的质量流量控制器，如压差式D500系列、压力不敏感型SEC-Z700S系列、高性能数字式SEC-Z500X系列产品。

D500 Series压差式质量流量控制器

气体流量计包括压力式和热力式两类，两类产品的适用控制范围和控制精度各有不同。D500 Series就是HORIBA推出的这样一款压差式质量流量控制器，其具有压力非敏感性、自带显示功能、控制范围广、精度高等优点，同时其可应对多种气体、多种量程、不同压力条件，适用于诸如半导体干法刻蚀等高精尖端工艺需求。

MV-2000 Series高效液体汽化系统和XF-100 Series高响应速度数字式液体流量计

随着半导体器件快速一体化的发展，越来越多的细节需要考虑其中，同时新的材料也被不断引入300mm晶圆制程以确保产品性能。在这样的背景下，更多的液体被应用到半导体生产过程中，流量需求不断增大。对此，HORIBA提供了液体源汽化控制系统，利用加热、直接注入、混合注入等方式确保平稳有效的将气体传送到反应室。MV-2000是HORIBA推出的一款高性能载气式液体汽化器新品，其采用了汽液混合汽化方法可高效稳定的对高沸点液体源进行汽化并可用于低温环境大流量需求的条件。XF-100 Series则是一款高响应速度数字式液体流量计，鉴于压差传感系统，XF-100系列可实现100毫秒内高速响应，有助于减少液体材料的损耗，并在短时间内达到流量要求温度。这两款产品满足了半导体湿法刻蚀对液体流量控制测量的需求。

CS-700 Series药液浓度计

湿法工艺中需要对药液成分和浓度进行稳定的实时监测，对此，HORIBA推出了CS-700 Series化学药液浓度计。CS-700 Series是一款具有更高性能的混酸监测系统，可监控BEOL工艺多成分药液。这款产品具有更好的再现性、稳定性，可完成多达8种不同成分与浓度范围的监测，且无药液损耗。

一直以来，HORIBA致力于为遍布全球各地的用户大量提供具有世界先进水平的分析仪器系统及系列产品，而HORIBA半导体事业部以尖锐的目光关注着半导体、FPD、LED、太阳能、光纤等细微世界的发展。有研发专家展开独一无二的研究与开发以支持世界最尖端半导体制造工艺中对不同流体控制技术的需求。