二闯科创板，这家半导体设备商IPO获受理，拟募资10亿元

3月3日，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）科创板上市申请正式获得上交所受理。

据了解，微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。自成立以来，微导纳米通过不断吸纳国内外优秀人才和研发投入，先后设立江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站等科研平台，在原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术、纳米叠层薄膜沉积技术、高质量薄膜制造技术、工艺设备能量控制技术、基于原子层沉积的高效电池技术等前沿科技领域持续构筑和强化技术壁垒，并在此基础上继续深化 ALD 技术在下一代光伏电池、集成电路、先进存储等方面的技术储备，为客户提供更丰富的高端薄膜沉积产品。2018 年，微导纳米的光伏领域夸父（KF）原子层沉积设备被评定为“江苏省首台（套）重大装备产品”。目前，微导纳米应用于 TOPCon 新型高效电池生产线的产品已在客户现场验证。

在成功将 ALD 技术应用于光伏领域后，微导纳米开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，已先后获得国内知名半导体公司、腾讯、盛吉盛等多家公司的商业订单，并在报告期内实现了国产 ALD 设备在 28nm 集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。此外，微导纳米已与多家国内半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等合作， 针对国内半导体薄膜沉积各细分应用领域研发试制新型 ALD 设备。除了光伏和半导体领域外，还拓展了柔性电子等其他领域的应用。

本次微导纳米科创板IPO拟募资10亿元，主要用于将投资于以下项目：

基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目拟基于公司现有 ALD 设备产线进行升级扩产，开发适用于光伏、柔性电子的 ALD 设备，新增年产120台ALD设备的生产能力。基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目拟基于公司现有 ALD 设备产线进行升级扩产，开发适用于半导体的 ALD 设备，新增年产 40 套 ALD 设备。集成电路高端装备产业化应用中心项目用于推动基于 ALD 技术的集成电路高端制造装备产业化应用。

实际上这并不是微导纳米首次申报科创板IPO，2020年6月17日，公司及中信证券股份有限公司向上海证券交易所报送了《江苏微导纳米科技股份有限公司关于首次公开发行股票并在科创板上市的申请报告》（微导纳米[2020]第01号）及相关申请文件（以下简称“前次上市申请”），于2020年6月22日收到《关于受理江苏微导纳米科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市申请的通知》（上证科审受理[2020]155号），分别于2020年7月21日、2020年9月29日、2020年10月29日收到上海证券交易所关于公司首次公开发行股票并在科创板上市申请文件的首轮、第二轮和第三轮审核问询函，并予以回复。

前次申报主要关注发行人报告期内存在委托给关联方先导智能委托经营管理的事项。2020年12月，微导纳米经研究决定暂停前次发行上市申请工作，并于2020年12月15日根据《上海证券交易所科创板股票发行上市审核规则》第六十七条第（二）项向上交所申请撤回微导纳米首次公开发行股票并在科创板上市申请文件，并于2020年12月16日收到了上交所出具的《关于终止对江苏微导纳米科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市审核的决定》（上证科审（审核）[2020]1017 号）。

而此次，微导纳米表示，发行人不断完善自身管理制度和体系，资产、人员、财务、机构和业务等方面保持独立，具有完整的资产、采购和销售业务体系，独立面向市场。2019年9月委托经营管理终止后已规范运行满两年，前次申请撤回不会对公司本次 发行上市申请造成实质性影响。