360万！清华大学激光共聚焦显微镜和超声扫描显微镜采购项目

项目编号：清设招第2022123号

项目名称：清华大学激光共聚焦显微镜

预算金额：160.0000000 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍 ：高精度表面分析，用于微观形貌、微观结构的表征；厚胶光刻显影工艺、刻蚀释放工艺、厚金属剥离工艺等3D形貌观测分析、断层扫描成像分析等，非接触式、无损、快速成像。

简要技术指标 ：

1）具备8英寸及以下基片上3D形貌观测分析、断层扫描成像分析等，非接触式、无损、快速成像和测量功能；

2）3D观测方式：共焦光路系统，光源：反射激光和反射LED光源，激光共聚焦模式、彩色成像模式、彩色光学DIC成像，具备光学测量及成像模块，3D观测方式具有白光；明场、暗场及共聚焦；单色共聚焦或多色真彩共聚焦观察方式；

3）成像图像X/Y平面分辨率≤0.12µm、Z轴显示分辨率精度≤0.006μm；

4）5x，10x，20x，50x，100x均为激光专用复消色差物镜。

合同履行期限：交货时间：合同签订后180日内

本项目( 不接受  )联合体投标。

项目编号：清设招第2022125号

项目名称：清华大学超声扫描显微镜

预算金额：200.0000000 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍 ：利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异的特点，实现对材料内部缺陷的定性分析，在半导体封装及材料等行业中具有广泛的应用。对器件内部的结构、夹杂物、裂纹、分层、空洞等进行检测，是提供高分辨率无损检测的重要手段。

简要技术指标 ：

1）最大扫描速率≥610mm/s；

2）扫描精度：可设置最小扫描步进≤5μm，最大扫描步进≥500μm。

合同履行期限：交货时间：合同签订后180日内

本项目( 不接受  )联合体投标。