中国四极质谱开拓者查良镇教授去世

　　2022年12月24日，中国四极质谱学科开拓者、清华大学查良镇教授去世，享年85岁。

　　查良镇，1937年7月出生;清华大学电子工程系教授、博士生导师、政府津贴获得者。他从事真空科学、质谱学研究超过六十年, 取得过多项科研成果。

　　近四十年来，主要致力于二次离子质谱(SIMS)科学研究与人才培养，大力推动二次离子质谱技术在中国的应用，是中国二次离子质谱学科的一位开拓者，也是中国二次离子质谱学术会议的倡议者和创办者。查良镇教授还积极推进与国际二次离子质谱学领域的深入交流，是国际标准化组织二次离子质谱标准制定的开拓者。

　　1954年查良镇如愿考入清华大学无线电系。1958年下半年，查良镇提前留校任教。

　　查良镇参加校摩托车队训练照

　　1964年，查良镇负责设计的质谱探漏仪获国家工业新产品一等奖

　　1961年开始，查良镇、申功运带领学生薛祖庆、戴平湖等，与沈阳教学仪器厂工程技术人员合作研制氦质谱探漏仪，即利用磁质谱分析的方法探测真空系统的微小漏孔，这种方法的检测灵敏度是当时最高的，是电子、航天、核技术等领域必不可少的工具。1963年11月研制成功生产样机,命名为“6104型质谱探漏仪”。1964 年2月, “6104型质谱探漏仪”通过了教育部鉴定;6104型质谱探漏仪的主要技术指标完全满足设计要求，灵敏度达到了单极磁偏转型质谱探漏仪的国际先进水平。1964年6月16日，国家计划委员会、国家经济委员会和国家科学技术委员会对1400多项全国工业新产品授奖，6104型质谱探漏仪获得一等奖。1964 年8月6日，研究成果载入国家科学技术委员会发布的发明记录(当时还未设发明奖)。1965 年5月，国家科学技术委员会出版了6104型质谱探漏仪的科研报告。

　　1962—1966 年,查良镇、薛祖庆、申功运等与北京分析仪器厂合作研制成功ZhL-01型四极质谱计，采用白金丝的玻璃型标准漏孔校准。1964年，仪器研制成功，并参加全国仪器展览会，成为世界最小的分压强质谱仪。

　　80年代初，查良镇率领真空教研组与沈阳教学仪器厂合作，研制四极杆二次离子质谱仪(Q-SIMS)，并于1986年通过教育部组织的鉴定。

　　TOF-SIMS是具有广泛探测性、高分辨率、极灵敏的表面分析技术，采用一次离子轰击、激发固体样品表面，溅射产生微量的二次离子，根据二次离子因不同质荷比而飞行至探测器的时间差异来测定离子质量，并据此探测样本的成分和结构，可精确测定样品表面元素的构成，应用十分广泛。

　　2011年，国家重大科研仪器设备研制专项启动，研制地质科学领域专用的飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)，探测单粒宇宙尘中宇宙成因核的丰度特征，旨在突破宇宙尘探测领域。项目由中国地质科学院地质研究所研究员刘敦一负责，已经退休的查良镇受邀参加其中，这一项目成为近十年他所承担的最重要工作。

　　作为国际标准化组织(ISO)二次离子质谱专业委员会的专家，鉴于目前国际上普遍在使用的质量分辨定义存在的不足，查良镇在2012年ISO二次离子质谱委员会上提议，重新定义质量分辨，并修改相关术语。这一提议得到国际标准化委员会(ISO)TC201的认可，并在2013年受国际标准化委员会(ISO)TC201的委托，组织中国专家团队进行立项研究。通过查良镇及其领导的专家团队的努力和出色的工作，2017年国际标准化委员会(ISO)TC201对该项目正式立项，制定一个国际标准：Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for measurement of mass resolution(表面化学分析 二次离子质谱 质量分辨的测定方法)。

　　查良镇荣获了两项质谱相关终身成就奖：2005年全球华人二次离子质谱学及相关领域研讨会在台湾新竹成功举行，他获得“全球华人二次离子质谱终身成就奖”。2018年10月8-12日，第七届中国二次离子质谱学术会议在苏州举行，他被授予“中国二次离子质谱终身成就奖”。

　　2018年，查良镇教授荣获终身成就奖项

　　资料主要来自：心系质谱科学 铸就红专精神 — 访清华电子系查良镇教授 | 校友专访