共话光电核心器件及其测量技术，特别专题高峰论坛成功召开

仪器信息网讯 世界已进入信息时代，人们在利用信息的过程中，精密测试测量技术得到了越来越多的研究和重视，而光电测试测量技术作为现代精密测量的核心技术也发挥着越来越重要的作用。而传感器微型化、纳米技术的发展也对现代精密测量技术提出了越来越高的要求。

在此大背景下，2023年3月27-29日，由中国光学工程学会联合各单位组织召开了全国光电测量测试技术及产业发展大会暨辽宁省第十七届学术年会。本次大会由中国光学工程学会、辽宁省科学技术协会主办，中国光学工程学会光电测试测量技术及应用专业委员会（筹）、大连理工大学、长春理工大学、光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室承办，仪器信息网独家媒体支持。

27日下午，本次大会组委会设置的特别专题：光电核心器件及其测量高峰论坛在大连香洲国际酒店百合厅成功召开。高峰论坛由中国科学院空天信息创新研究院正高级工程师麻云凤主持，六位与会嘉宾分享了其在光电核心器件及其测量技术研究上的进展。

高峰论坛现场

中国科学院空天信息创新研究院 麻云凤 主持

报告人：杭州晶耐科学光电技术有限公司副总经理 曹频

报告题目：非球面光学元件表面缺陷数字化检测技术

非球面光学元件由于具备常规球面元件所不具有的消除像差、减少光能损失等优点被广泛应用于国防及工业等高科技各个领域。大口径非球面的空间随机分布的表面缺陷，会对元件的使用造成额外像差、能量散射等不良影响，因此在元件加工、使用中需要对光学元件表面缺陷进行客观、定量的数字化评价，以保证光学系统的稳定可靠性。报告中，曹频介绍的非球面光学元件表面缺陷数字化检测技术采用 2022 年新颁布的国家标准 GB/T 41805-2022 所述的“光学元件表面疵病定量检测方法一显微散射暗场成像法”，在针对非球面元件方程进行仿形子孔径规划的基础上，依靠多维转动、平动扫描机构，实现多轴子孔径仿形扫描并采集到高清晰子孔径图像，利用三维投影映射拼接方法，依据非球面方程实现三维子孔径拼接及缺陷的特征提取。同时利用变倍显微镜，在低倍率子孔径成像、缺陷提取的基础上，依据缺陷位置坐标，采集高倍率缺陷图像，进而实现宏观元件表面的微观缺陷检测，全自动输出各类电子化报表检测精度可达 0.5 μm。

报告人：中国科学院西安光学精密机械研究所副研究员 陈萍

报告题目：超快光电探测设备及其应用

超快现象研究对物理、化学、生物、能源、材料科学等领域均具有重要意义，具有高时空分辨、高灵敏度、大动态范围等的高性能光电探测仪器设备是研究超快现象的重要手段。陈萍在报告中介绍了多类型的超快光电探测设备及其应用，包括单光子探测光电倍增管、条纹相机等及其在惯性约束聚变、燃烧诊断、波速测量、激光雷达、同步辐射光源.核探测与粒子探测、高压放电测量、荧光寿命成像、计算成像等国家战略高技术、大科学工程、基础前沿科学领域的应用。

报告人：同济大学副教授 邓晓

报告题目：面向晶圆制造微纳检测的自溯源标准物质及其应用

晶圆制造是集成电路制造中的关键技术，也是所有微纳器件制造过程中必不可少的工艺。晶圆制造微纳检测设备产业是把核心的原材料与零部件，结合技术和软件集成后开发为微纳检测设备产品为芯片中的晶圆制造工艺服务。晶圆制造微纳检测设备的测量准确性、一致性与可比性需要微纳标准物质、计量传感器及校准型仪器设备作为支撑。

自溯源标准物质是指物质的关键参数可以溯源到自然界常数的标准物质。邓晓在报告中介绍了基于铬原子光刻技术研制纳米长度标准物质、自溯源型位移传感器及新型计量型 AFM 的研究成果与思路。系列光栅的准确性水平得到国际权威机构计量认可，并获批多项国家标准物质。系列可以溯源到铬原子跃迁频率的标准物质、位移传感器与计量仪器有望构建新型纳米长度计量体系。

报告人：北京航空航天大学教授 孙鸣捷

报告题目：高速LED阵列的计算成像中的应用

LED 阵列通常用于显示，对图案显示的速度没有太高的要求，但用于为计算成像和三维测量等技术提供结构光照明时，则对 LED 阵列的更新速度提出了新的要求，以保证成像和测量速度。报告中，孙鸣捷介绍了团队开发的基于 LED 阵列的高速结构光照明模块，对于特定图案的显示更新频率达到 25MHz，可实现基于结构光照明的高速计算成像和三维测量技术。该技术有潜力实现低成本、高速成像与测量。

报告人：中国科学院大连化学物理研究所研究员 耿旭辉

报告题目：基于硅光电二极管的微光探测器及在荧光检测中的应用

微光探测器是科学仪器和光学传感器中的关键器件之一，广泛地用在需要对微弱光信号进行探测的光谱仪器，如荧光检测仪和化学发光分析仪中，其性能决定着光学检测仪器的灵敏度和动态范围等指标。中国科学院大连化学物理研究所微型分析仪器研究组研制成功自主知识产权的高灵敏、低噪音、低漂移的微光探测器，用于替代进口光电倍增管 (PMT)和雪崩二极管 (APD)对弱光探测，经中国计量科学研究院第三方测试，其光检测下限为3.4x10^-5Ix (950 nm)。该微光探测器已应用在激光诱导荧光检测器、黄曲霉毒素荧光检测器系列深海原位荧光传感器、海洋中氨氮含量和金属离子含量荧光检测器、手持式荧光检测仪台式 96 孔板阵列式荧光检测仪和新冠病毒抗体检测的等温扩增仪等多款分析仪器上，成功替代了 PMT 和 APD，并达到使用 PMT 相同的检测限和更宽的动态范围。

报告人：中国科学院空天信息创新研究院研究员 郭广妍

报告题目：激光电光开关器件及测试技术研究

电光开关通过外加电压引起电光晶体双折射的变化改变光的偏振态，与偏振片一起使用可作为电光开关，是实现高峰值功率激光输出的重要途径。电光开关效率与激光输出效果直接相关，是高性能激光器的关键核心器件。电光开关测试技技术涉及晶体材料、器件集成装配效果及驱动技术效能验证等方面，郭广妍在报告中介绍了电光开关器件研究进展、测试技术现状及发展趋势。目前其所在团队在电光器件检测技术方面，已承研国家重点研发计划课题、测试仪器研制等项目，自研的电光晶体、器件测试平台已用于提供第三方检测服务。