精工盈司聚焦离子束「SMI4050」发售

提高了加工速度、加工精度、观察精度
 

精工电子纳米科技有限公司（简称：SIINT，社长：川崎贤司，总公司：千叶县千叶市）是精工电子有限公司（简称：SII，社长：新保雅文，总公司：千叶县千叶市）的全资子公司，其主要业务是测量分析仪器的生产与销售。提高了加工速度、加工精度、观察精度的聚焦离子束的新产品「SMI4050」于8月30日开始销售。 
 

聚焦离子束　SMI4050

 
聚焦离子束（FIB仪器）是使用数纳米细的离子束对样品表面进行扫描，可实现纳米级别的(1)蚀刻加工、 (2)堆积加工、 (3)显微镜观察的仪器。通过这些功能的组合，可进行半导体设备的布线变更、缺陷评价、断面加工・观察以及透射电子显微镜(TEM)用的样品薄片的切除加工、金属材料的结晶粒观察等，对以半导体为开端的电子部件和高功能材料的开发・改良具有重大贡献。
 
SIINT从1986年在日本首次销售通用FIB仪器以来，作为拥有世界领先水平技术的FIB仪器厂商，一直致力于二维电子图像分辨率的提高等以高性能化和自动化为首的高功能化。近年来，伴随关各种材料和半导体设备等对生产量的要求变高，也要求FIB仪器的离子束光学系统的高分辨率化和样品台的高精度化。另外，随着市场的扩大，对电子部件和复合材料等的断面加工时间的缩短化要求也增加了。
 
SMI4050配合有对应大电流的新型离子束光学系统和具有优良再现性的高精度样品台，可用这一台仪器对各种样品进行大面积加工和分辨率和显微镜观察。并且，对以往的操作性进行改良，断面加工和TEM样品制作更加自动化，可获得不依赖于操作员的熟练度的更准确的数据。
 
此次，通过发布SMI4050，可对应各领域的广泛研究开发的要求，可使FIB仪器应用得更广。
 
【SMI4050的主要特征】
1. 通过大电流离子束，大幅缩短加工时间
以前，数百微米的大尺寸断面制作加工需要很长时间，通过采用新型离子束光学系统，离子束电流约为以往机型的2倍，大幅缩短了加工作业时间。
 
2. 通过极低加速电压，制作高品质的样品
TEM样品制作需要低加速电压下的精加工，SMI4050能达到低至0.5kV(选配设定时)的加速电压，可制作更高品质的TEM样品。同时通过提高低加速电压时的二维电子图像分辨率，实现了正确并且确实的加工。
 
3.提高二维电子图像分辨率
世界领先水平的SMI系列的二维电子图像分辨率，以往的加速电压在30kV时的二维电子图像分辨率还是不变，即使设定0.5kV（选配）的极低加速电压时也可得到清晰的图像。
 
4.采用高精度样品台
通过采用高精度机械5轴自动倾斜修正样品台， 对于样品观察时的位置对准和连续TEM样品自动加工也可实现高精度的坐标位置指定。
 
5.优越的操作性
以「操作简单且高精度」为关键字，实现了TEM样品的自动制作等高精度且无需熟练掌握的自动加工。
 
【SMI4050的主要规格】
FIB二次电子分辨率      ：4nm
FIB加速电压            ：1～30kV (选配设定时：0.5～30kV)
探针电流范围            ：0.15pA～90nA
最大探针电流密度        ：50 A/cm²
样品台                  ：高精度机械5轴自动倾斜修正样品台
样品尺寸                ：50mm×50mm
 
【价格】            7,000万日元～（不含税）
 
【销售目标台数】    10台（年度）
 

 

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