国产半导体产业突破是一场持久战——访中国科学院半导体研究所颜伟

仪器信息网讯 8月29日，全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会第四届微光刻分委会年会暨第十三届微光刻技术交流会在青岛成功召开。

会议期间，仪器信息网特别采访了中国科学院半导体研究所集成技术与工程研究中心高级工程师颜伟。据介绍，中国科学院半导体研究所集成技术与工程研究中心（简称：集成中心）是一个面向全国的半导体微纳加工平台，也是北京信息电子技术大型仪器区域中心的牵头单位、中国科学院知识创新工程基地纳米器件平台等。集成中心平台拥有1700平米的超净工艺线，拥有半导体测试、加工设备200余套，专业人员近四十名。

集成中心除了提供常规的硅基和III-V族半导体的光电子、微电子、MEMS器件加工外，还提供灵活的服务模式。传统的Fab模式具有严格的流程标准，单条产线往往用途单一，作为一个实验性的平台，集成中心还可以满足一些前沿研究的需求，例如量子计算、低维材料等。

颜伟指出，在微纳加工，特别是实验室微纳加工的生产线中的设备非常依赖于进口厂商。以电子束曝光设备为例，虽然很多国内科研院所也在研发，但实际上仍依赖于国外厂商，当前禁运情况严重。此外，当前半导体用的材料辅料也在逐步追赶国际先进水平，比如此前电子束曝光使用的光刻胶依赖进口，价格昂贵，但现在国产材料性能已经追上来了。

颜伟表示，贸易战为我们敲响了警钟，打破了之前造不如买的理念，倒逼我们技术进步。贸易战以来，从设计、制造到封测，然后到软件全产业链，各个领域的国产替代都有突破。

作为从业者，颜伟也强调，要冷静的认识到半导体技术是全人类智慧的结晶，不是美国一家搞出来的。从客观规律上讲，也不可能有任何一个国家能把半导体整个产业链从头到尾全覆盖一遍。我们还是要发挥自己的比较优势，积极拥抱全球化，寻求合作而不是寻求脱钩。此外，关于半导体的国产替代，既要反对盲目乐观，也要反对盲目悲观，半导体的国产突破是一场持久战。

以下为现场采访视频：