全自动晶圆搬运检查系统-徕科光学-新品

产品优势

徕科光学研发的LK-BY系列晶圆搬运机兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查。徕科光学LK-BY系列晶圆搬运机拥有 LK-BY64、LK-BY86 两种机型，分别可适用于 4/6 英寸晶圆检测，6/8英寸晶圆检测，适应范围广、搭配灵活 。可自由设置的检查模式，充分符合人机工程学设计，操作舒适、简便。依靠着科技感和创新感双强的研发力量，可以根据不同客户的需求定制出高性价比的产品方案；具备内核稳定的售后方案，7*24小时响应，提供安装培训 一体化互动，更加直接且高效地为客户做好售前、售中、售后服务保障。经过十余年的研发服务，已积累千万客户，并在多地区投建服务部方便与客户的沟通互动。

产品图：

下图为现场安装、培训实景图：

下图为合作伙伴情况：

下图为服务站分布图：

产品介绍

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360°宏观观察：

LK-BY系列具有宏观检查手臂，可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360° 旋转更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面最大倾斜角度70°，晶背 1 最大倾斜角度 90°，晶背 2最大倾斜角度 160°，利用旋转功能、倾斜角度，完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。

‍‍‍‍‍‍‍‍人机工‍‍程学设计：‍‍‍‍‍‍‍‍

LCD 显示屏，可为‍‍操作者提供更直观的视觉体验，可清晰的显示当前检查项目及次序，调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率。

图例1：

图例2：

图例3

创新点：

徕科光学研发的LK-BY系列晶圆搬运机兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查。徕科光学LK-BY系列晶圆搬运机拥有 LK-BY64、LK-BY86 两种机型，分别可适用于 4/6 英寸晶圆检测，6/8英寸晶圆检测，适应范围广、搭配灵活 。可自由设置的检查模式，充分符合人机工程学设计，操作舒适、简便。依靠着科技感和创新感双强的研发力量，可以根据不同客户的需求定制出高性价比的产品方案；具备内核稳定的售后方案，7*24小时响应，提供安装培训 一体化互动，更加直接且高效地为客户做好售前、售中、售后服务保障。经过十余年的研发服务，已积累千万客户，并在多地区投建服务部方便与客户的沟通互动。

全自动晶圆搬运检查系统