北大研发金属氧化物薄膜制备新方法！

【研究背景】

金属氧化物是一类重要的陶瓷材料，由金属阳离子和氧阴离子组成，因其广泛应用于现代电子、传感器和能源技术等领域而备受关注。与传统的无机绝缘材料相比，金属氧化物具有更优越的电学和热学性能，如高介电常数和优异的热稳定性。然而，这些材料在获取均匀薄膜和调节厚度方面仍存在困难，尤其是在工业应用中如何实现高性能和低成本的量产，因此带来了新的挑战。

近日，来自北京大学刘磊课题组的研究团队在金属氧化物的研究中取得了新进展。该团队设计并制备了一种新型的泡沫剥离工艺，用于获得绝缘非晶金属氧化物（AMOs）和晶态金属氧化物（CMOs）的超薄薄片。通过将金属盐的分解与水辅助泡沫结合，该方法成功实现了大尺寸二维片层的形成，并在胶带剥离过程中保持了长程均匀的断裂，最终获得了可转移的自由悬挂薄片。

利用这种新型剥离工艺，研究人员显著提高了AMO和CMO薄片的性能，成功获取了薄片的均匀厚度和优异的电学特性。这一成果不仅为金属氧化物在二维材料异质结构中的应用奠定了基础，还为新型电子器件和高性能功能材料的开发提供了新的思路和方法。

【表征解读】

本文通过多种先进仪器和表征手段，深入研究了AMO和CMO薄片的性质及其微观机理。首先，通过微CT技术对多孔泡沫进行表征，作者揭示了泡沫结构的细致特征，特别是其孔隙率和分布情况。这一发现为后续研究提供了基础数据，帮助作者理解材料的力学性能和电气特性。

在对AMO和CMO薄片的成分和状态进行分析时，X射线光电子能谱（XPS）作为主要表征工具，准确测定了薄片中元素的化学状态和组成。通过对XPS谱图的解读，作者揭示了材料的化学环境和表面特性，发现了与传统材料相比，AMO和CMO在电导性和介电性上的显著改善。

针对薄片中存在的电性现象，作者通过原子力显微镜（AFM）进行微观形貌和厚度的测量，得到了AMO和CMO薄片的准确厚度和表面平整度。这些数据为理解材料的电子特性提供了关键支持。结合施加的电压和频率，进一步通过压电力显微镜（PFM）测量了域开关行为，揭示了材料在电场作用下的极化行为，从而探索了其在电气器件中的应用潜力。

此外，通过能量色散光谱（EDS）和透射电子显微镜（TEM）的结合，作者深入分析了AMO和CMO薄片的微观结构。EDS提供了元素分布的信息，而TEM则展示了薄片的晶体结构。这些表征结果表明，AMO和CMO薄片具有优异的晶体质量和均匀的组成，进而为它们在电子器件中的应用奠定了基础。

在此基础上，通过X射线衍射（XRD）技术，作者系统研究了薄片的晶相特征，发现其具有优良的结晶性，这对于提升器件性能至关重要。借助拉曼光谱，作者进一步确认了材料的单层特性，这一发现对提升器件的载流子迁移率和开关特性起到了重要作用。

总之，经过以上多种表征手段的综合应用，作者深入分析了AMO和CMO薄片的微观结构及其电气特性，进而成功制备出新型的高性能材料。这一进展不仅推动了AMO和CMO在柔性电子器件领域的应用发展，也为未来相关材料的研究提供了新的思路和方法。通过对材料性能的深刻理解，作者期待能够进一步拓展其在各类新兴技术中的应用，推动整个领域的进步。

通过泡沫剥离法制备AMO薄片

参考文献：Li, R., Yao, Z., Li, Z. et al. Mechanical exfoliation of non-layered metal oxides into ultrathin flakes. Nat. Synth (2024). https://doi.org/10.1038/s44160-024-00657-8