2344万元！电子科技大学拟采购20台/套电镜、失效分析等设备

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额(万元)

1

电镜设备

包括超高分辨场发射扫描电镜1台、聚焦离子束电子束双束显微镜1台

855

2

失效分析设备

包括金相前处理设备1台、超景深三维显微镜2台、X射线无损检测设备1台、超声扫描显微镜1台、锁相红外显微成像系统1台、激光探针台1台、激光开盖1台

705

3

可靠性测试设备

包括温度循环试验箱1台、温度冲击试验箱1台、高加速应力测试试验箱1台、高低温湿热实验箱1台

239

4

探针台

包括半自动探针台1台、手动探针台1台、霍尔效应测试系统1套

190

5

芯片剖面制备与分析系统

包含离子研磨仪1台、能量色散谱仪1台、电子背散射衍射仪1台。 离子研磨仪：用于集成电路制造和芯片开封等环节中大尺寸高平整度样品的制备，以便开展开路、短路、漏电、表面异物分析、 BGA 焊点缺陷、焊点金相组织、和可焊性镀层分析等失效分析项目。 能量色散谱仪：与FIB的精细加工能力相配合，可对芯片（或其他材料/器件）内部的结构和成分进行纳米尺度的三维重构，实现缺陷三维可视化，提高失效分析的成功率。 电子背散射衍射仪：用于对集成电路和芯片制造封装中材料的微观结构、晶体取向、晶界特性以及相分布的分析，以及对半导体器件的质量评估。

355