【NCASI2024】第40分会“半导体材料分析技术与仪器”嘉宾一览

为推动我国分析科学与仪器领域自主创新和高质量发展，加强产学研用协作，促进分析科学基础研究和仪器研发，提升人才培养和企业发展的水平，中国分析测试协会决定于2024年11月8-12日在成都召开“首届分析科学与仪器大会（The 1st National Conference on Analytical Science and Instrumentation, NCASI 2024）”。此次大会由四川大学承办， 四川省分析测试学会协办。会议主题是分析科学，创造未来。

会议主席：

江桂斌（中国科学院院士/中国分析测试协会理事长/中国科学院生态环境研究中心研究员）

汪劲松（四川大学校长、党委副书记/第十四届全国政协委员）

学术委员会主任：

张玉奎（中国科学院院士/中国科学院大连化学物理研究所 研究员）

张学敏（中国科学院院士/军事医学科学院药物毒物研究所 所长）

刘买利（中国科学院院士/中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 研究员）

重磅分会

第40分会：半导体材料分析技术与仪器

分会简介

本分会主要围绕“半导体材料分析技术与仪器”为主题开展，半导体⾏业是⼀个技术密集型的⾏业，其⽣产⼯艺复杂，设备精密度要求⾼，整体流程涉及到成百上千道⼯序。随着半导体制造⼯艺越来越⾼，其制造难度及品质管控也在呈指数级增⻓。因此，对材料纯度、制造精度等都提出极⾼要求。本分会将围绕光电材料与器件、第三代半导体材料与器件、传感器与MEMS、半导体产业配套原材料等热点材料、器件和材料分析、可靠性测试、失效分析、缺陷检测和量测等热点分析检测技术，涉及各类分析仪器：等离⼦体质谱，辉光放电质谱，离⼦⾊谱，液相⾊谱质谱，扫描电镜，透射电镜，拉曼光谱等。在⽅法与技术⽅⾯，包括超痕量元素分析、样品制备、进样技术、激光剥蚀技术，单纳⽶颗粒分析等；在应⽤⽅⾯，涵盖硅⽚及硅基材料电⼦⽓体光刻胶前驱体靶材⾼纯化学试剂分析等。

分会召集人

汪正 （中国科学院上海硅酸盐研究所 研究员）

杭纬（厦门大学 教授）

邢志（清华大学 教授）

陈登云（厦门大学特聘半导体行业专家 高级工程师）

分会联系人

刘睿（四川⼤学 教授）

电话：13458545323（微信同号）

嘉宾介绍