预算9797万元！中国科学院上海光学精密机械研究所近期大批仪器采购意向

序号

采购项目

需求概况

预算金额/万元

采购时间

1

高精度力学测试系统

用于各种材料的纳米综合（力学性能）的静态或动态测试，包括金属材料、陶瓷、复合材料、涂层材料等静态压痕、划痕、多维度动态测试、三维力学成像测试等，获得材料的硬度、模量、断裂韧性、划痕磨损、硬度模量随压入深度连续变化分布性能、蠕变性能等力学参量和特性。

245

2024年10月

2

大口径紫外光谱仪

主要用于用深紫外波段反射率及其均匀性的高响应高精度的光谱测试，主要技术指标如下： 波长范围： 120nm – 280nm。

600

2024年10月

3

1.5米高真空镀膜机

主要用于微透镜阵列深紫外薄膜制备。

780

2024年10月

4

高精度刻写物镜辅助装配系统

1）*检测波长：覆盖266nm/532nm双波长； 2）*波长带宽：＜1pm； 3）*物镜综合波前检测精度(RMS)：≤10nm。

410

2024年10月

5

微米级三坐标测量机

主机为移动桥式结构，三轴均为气浮结构，结构设计应合理，有足够的静态、动态刚度及高稳定性。并能采用先进技术，保证系统具有良好的动态品质。所选伺服驱动系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。测量软件具有友好的人机界面。能满足尺寸及形状位置各测量项目的测量要求和评定。质量优良，售后服务良好。

118

2024年10月

6

掩模CD量测设备

在掩模版的众多技术参数中，CD尺寸(一致性)和套刻精度是最关键的两个技术参数。通过测量不通位置和图形的CD尺寸，可以评估与CD相关的多个指标及边缘粗糙度、线性度、对准精度等参数，是掩模版工艺验证的重要设备。

750

2024年10月

7

点衍射干涉仪

点衍射干涉仪是一种基于衍射干涉原理的光学测量设备，可实现对物体形状、表面粗糙度、折射率等参数的高精度测量。点衍射干涉仪不需要标准参考件，可以用于超高精度面型的检测，是一种非常重要的高精度测量仪器。

255

2024年10月

8

剪切增稠抛光机

主要用于光学元件复杂表面的抛光。

250

2024年10月

9

光调制分析仪

主要用于高效准确评估空芯光纤输出端高带宽大容量业务信号的质量和性能。

149

2024年10月

10

光学轮廓仪

五百万像素彩色相机，像素2448x2048，测量范围200mmx200mm，最大Z向测量40mm，2轴分辨率2nm，缺陷检测灵敏度优于1um等技术指标。

175

2024年10月

11

原子力显微镜

控制器位数不低于24位DAC，且设备噪声水平小于35pm，扫描器XY方向线性误差小于0.1%，满足230mmx230mm以下样品的测量。

165

2024年11月

12

反应离子刻蚀设备

主要用于熔融石英材料的精细刻蚀，通过干法刻蚀的方式，实现所需的高精度结构图形的刻蚀。

380

2024年10月

13

刻蚀机

用于刻蚀石英基片，主要由刻蚀工艺腔体、传片腔、真空系统、工艺气体配送管路和控制系统、电源系统、控制软件等部分组成。

220

2024年10月

14

微透镜阵列加工中心

微透镜阵列加工中心主要用于微透镜阵列的高速切削加工。

450

2024年10月

15

微透镜阵列表面粗糙度检测仪

微透镜阵列表面粗糙度检测仪主要用于检测微透镜表面粗糙度情况。

102

2024年10月

16

激光共聚焦显微镜

装调、性能优化阶段对所刻写的图形尺寸进行高精度测量。

200

2024年10月

17

掩模缺陷检测设备

进行缺陷检测(DB检测模式)。

920

2024年10月

18

粗糙度测量仪

粗糙度、曲率半径、面形的测量。

218

2024年10月

19

波像差测量仪

描述光束经过光学系统后产生的偏离理想球面波的程度和类型的参数。

162

2024年10月

20

真空镀膜机

实现精确的原子级镀膜方面具备显著优势，能够显著提升薄膜的光学性能、抗激光损伤能力和使用寿命。

550

2024年10月

21

超快采集相机设备

用于飞秒激光、削等加工的原位探测。

120

2024年10月

22

高性能计算平台

以CPU和GPU为核心算力、以分布式存储系统为核心存储的高性能计算集群硬件方案；同时配置管理平台软件、相应的集群并行开发工具和函数库等中间件来构成高性能计算集群的软件系统。

346

2024年10月

23

高性能计算集群

1.管理节点，2.计算节点，3.存储节点，4.计算网络。

180

2024年10月

24

光电子芯片测试系统

空间光通信收发芯片、光计算芯片、PNT芯片、气体探测芯片研发等关键任务，对制备的片上单元器件、片上光电混合系统进行分析表征。

950

2024年12月

25

精密光学测试平台

该设备主要用于平面、球面、非球面及复杂自由曲面光学元件的表面面形参数检测。

432

2024年12月

26

短脉冲激光器

中心波长1053nm。

140

2024年12月

27

靶室涂敷水泥层

实现靶场物理诊断防护。

150

2024年11月

28

常温靶架

满足物理实验靶输送及调整功能。

180

2024年12月

29

镜架等机械加工

机械加工

200

2024年12月