该项目由北航牵头,北京中科科仪股份有限公司作为项目产业化单位,合作研发单位包括北京北仪创新真空技术有限责任公司、北京海斯德电机技术有限公司,应用示范单位包括中国计量院、中科院半导体所、北京北方微电子基地设备工艺研究中心、中科院电子学所、中航工业618所、航天三院33所等6家单位。本项目以北航2007年国家技术发明一等奖的核心技术,以及国家重大科技成果转化项目突破的系列化高速磁悬浮永磁电机技术为基础,利用北京中科科仪、北京北仪创新真空的机械分子泵的技术积累,依靠自主创新,研制国际先进水平的大、中、小三类超高真空磁悬浮分子泵,填补国内空白,提升我国高端科学仪器及工艺设备的技术水平。
会上,刘刚教授介绍了项目研究的必要性、拟解决的关键技术问题、主要研究内容、任务指标以及项目的组织实施和管理模式等。其他参研及应用示范单位就各自承担课题的研究内容、实施方案等作了详细汇报。与会领导和专家充分肯定了该项目研究的重要性以及各参研单位优势互补、高效合理的组织管理模式,并就仪器研制工作以及项目实施过程中可能遇到的困难展开了深入的交流与讨论,为下一步项目的顺利实施和组织管理提出了很好的建议。
来源于:中国仪器仪表行业协会
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