【天美千里行】回访河北半导体所用户

    河北半导体所成立于1965年，是国内成立时间最早、规模最大的综合性半导体研究所，该所也是河北省较早引进日立S-4800型冷场发射扫描电镜的单位之一，S-4800凭借其高分辨能力、易操作使用性和低故障率成为所内半导体相关工艺研发和品质控制的有力工具，长期以来天美公司和河北半导体所保持着广泛而深入的交流和合作。

    天美公司电镜应用工程师高敞首先为各专业部的老师们做了场发射扫描电镜在半导体元器件观测的专题技术讲座。在讲座中，高敞从基本理论出发，介绍了扫描电镜实现高分辨的条件和方法，并针对半导体元器件在高电压、大束流下易产生污染、辐照损伤和放电效应等问题，系统介绍了应用冷场发射扫描电镜在小束流、低电压下配合减速功能获取高分辨图像的技巧。之后老师们踊跃进行了发言和提问，特别是在半导体工艺线宽测量、能谱分析、EBIC感生电流计测和特殊样品观测制样技巧方面大家展开了热烈讨论。

天美电镜应用工程师高敞讲解低电压高分辨拍摄方法和电子束减速使用技巧

    随后天美公司应用工程师、维修工程师和用户一起进 入厂区实验室开始了为期2天的S-4800实操培训。在培训结束后，天美公司维修经理戚军为各专业部的老师们带来了场发射扫描电镜使用维护专题讲座，戚军经理介绍了S-4800在使用和维护中的常见问题和注意事项，特别是保证电镜持久稳定等关系到厂房不间断生产测试方面，如对电子枪的内、外烘烤技术、灯丝Flash技巧等做了系统和详细的讲解，并与在座各位老师展开相关问题讨论。

天美维修经理戚军为用户们介绍电子枪内、外烘烤技术和灯丝Flash技巧

    讲座、培训结束后，大家一起合影留念。此次活动参与老师都是半导体相关领域研究人员，对于天美公司千里行活动，老师们都表示很有收获，也给与极高的评价，希望天美公司多举办类似的活动，天美公司也通过举办此次千里行活动获得了河北半导体所用户的多方面反馈，并针对这些需求认真总结，之后为广大客户提供更完善的服务！

培训、讲座结束后合影留念