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III-V族氮化物单晶衬底
晶体 | 结构 | M.P. [°C] | 相对GaN晶格 失配度 | 生长方法& 最大直径 |
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Al2O3 氧化铝蓝宝石衬底 | Hexag. a=4.758? c=12.99? | 2030 | 14% at <0001> ori. | CZ ?50mm |
LiAlO2 偏铝酸锂衬底 | Tetrag. a=5.17? c=6.26? | 1700 | 1.4% at <100> ori. | CZ ?20mm |
LiGaO2 镓酸锂衬底 | Orthor. a=5.406? b=5.012? c=6.379? | 1600 | 0.2% at <100> ori. | CZ ?30mm |
MgAl2O4 多晶铝酸镁 | Cubic a=8.803? | 2130 | 9% at <111> ori. | CZ ?40mm |
MgO 氧化镁衬底 | Cubic a=4.216? | 2800 | 13% at <111> ori. | Flux ?2" |
SiC (6H) 碳化硅衬底 | Hexag. a=3.080? c=15.12? | ~2700 subl. | 3.5% at <0001> ori. | Lely 10x10mm |
ZnO 氧化锌衬底 | Hexag. a=3.325? c=5.213? | 1975 | 2.2% at <0001> ori. | Hydrothermal ?20mm |