三五族氮化物单晶衬底
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北京汇德信科技有限公司
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III-V族氮化物单晶衬底


晶体结构M.P.
[°C]		相对GaN晶格
失配度		生长方法&
最大直径

Al2O3
Sapphire

氧化铝蓝宝石衬底

Hexag.
a=4.758?
c=12.99?		203014% at
<0001> ori.		CZ
?50mm

LiAlO2

偏铝酸锂衬底

Tetrag.
a=5.17?
c=6.26?		17001.4% at
<100> ori.		CZ
?20mm

LiGaO2

镓酸锂衬底

Orthor.
a=5.406?
b=5.012?
c=6.379?		16000.2% at
<100> ori.		CZ
?30mm

MgAl2O4

多晶铝酸镁

Cubic
a=8.803?		21309% at
<111> ori.		CZ
?40mm
MgO
氧化镁衬底		Cubic
a=4.216?		280013% at
<111> ori.		Flux
?2"

SiC (6H)

碳化硅衬底

Hexag.
a=3.080?
c=15.12?		~2700
subl.		3.5% at
<0001> ori.		Lely
10x10mm

ZnO

氧化锌衬底

Hexag.
a=3.325?
c=5.213?		19752.2% at
<0001> ori.		Hydrothermal
?20mm