硅片大小：4*3*0.5mm，图案由铝金属制的（高度大约90nm，宽75nm，此参数无校准，注意，其图案布满硅片），2D全息阵列，间距144nm，表层喷镀钨膜，精确度±1nm。

    提供的产品有两种：Model 150-2D和Model 150-2DUTC，其中的Model 150-2D校准标样, 带有制造商的认证, 不可溯源；Model 150-2DUTC校准标样, 认证, 可溯源, 提供证书（PTB,a German counterpart of NIST）。

我们推荐Model 150-2D，其独一无二的特性使应用非常方便，标样结实耐用，可以在接触模式扫描，提供快速校准和测量：

l  2D模式，X轴和Y轴同时校准

l  即使探针钝化也不影响像对比度

l  接触扫描可以得到高对比度像

l  整片布满式节省寻找扫描区域的时间

l  不仅仅高倍率应用，中等倍数5 kX时，单个圆体仍可清楚分辨

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