SU-8 2000系列
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迈可诺技术有限公司
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MicroChem负性环氧树脂抗蚀剂

MicroChem环氧树脂抗蚀剂由化学放大的环氧基负性抗蚀剂组成，它们具有高度功能性，光学透明性和可接近UV（365nm）辐射的可成像。固化膜或微结构是对溶剂非常抵扣的，酸和碱以及具有优异的热稳定性和机械稳定性，使其非常适合制造永久性结构，如像素墙，流体通道和喷嘴，微阵列和间隔物。

 

材料的使用：

· PDMS模具制造

· 结构部件，如微流体通道，显示像素阵列，墙壁和介电层

· 干蚀刻掩膜

· 快速成型

材料属性：

· 旋涂薄膜从< 1μm＞75μM

· 耐高温和耐化学性好

· 光学透明

· 兼容i-Line成像设备