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中国计量科学研究院——国家标准物质研究中心
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特性量 标准值(nm) 扩展不确定度(nm)(k=2) 氧化层 3.79 / 第一层 20.51 / 第二层 9.98 0.18 第三层 10.65 0.20 第四层 9.96 0.18