晶边清洗液（OK-73）

控管47种微量元素；34种<1ppt

常态性&制程性污染元素：铝（Al）、钙（Ca）、铬（Cr）、铁（Fe）、钾（K）、汞（Hg）、镁（Mg）、镍（Ni）、硒（Se）、钠（Na）、钛（Ti）、锌（Zn）、铜（Cu）<5ppt