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晶边清洗液(OK-73)
控管47种微量元素;34种<1ppt
常态性&制程性污染元素:铝(Al)、钙(Ca)、铬(Cr)、铁(Fe)、钾(K)、汞(Hg)、镁(Mg)、镍(Ni)、硒(Se)、钠(Na)、钛(Ti)、锌(Zn)、铜(Cu)<5ppt