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科睿设备有限公司
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产品详情

-SNR负性光刻胶,完全针对微机械加工微电子应用,高对比度,环氧树脂类负性光刻胶。

具有垂直侧壁的高纵横比成像

近紫外(350-400nm)处理

单旋涂膜厚度为1.5至200µm

高度耐化学性和耐温度性

与已建立的SU-8光刻工艺完全兼容


SNR
Series
Viscosity
(cP)
Thickness
(um)

Exposure Energy
(mJ/㎠)
C5
534 - 8100 - 120
C71656 - 13110 - 125
C104559 - 21120 - 140
C15150013 - 46125 - 180
C25549018 - 70135 - 200
C501590040 - 155165 - 295
C752720060 - 240190 - 360