产品详情
-SNR负性光刻胶,完全针对微机械加工微电子应用,高对比度,环氧树脂类负性光刻胶。
具有垂直侧壁的高纵横比成像
近紫外(350-400nm)处理
单旋涂膜厚度为1.5至200µm
高度耐化学性和耐温度性
与已建立的SU-8光刻工艺完全兼容
SNR Series | Viscosity (cP) | Thickness (um) | Exposure Energy (mJ/㎠) |
C5 | 53 | 4 - 8 | 100 - 120 |
C7 | 165 | 6 - 13 | 110 - 125 |
C10 | 455 | 9 - 21 | 120 - 140 |
C15 | 1500 | 13 - 46 | 125 - 180 |
C25 | 5490 | 18 - 70 | 135 - 200 |
C50 | 15900 | 40 - 155 | 165 - 295 |
C75 | 27200 | 60 - 240 | 190 - 360 |