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仪器简介：
技术参数：
主要特点：
应用：
◆厚度：量测膜厚度；
◆成分：量测一种材料中原子的类型和数量；
◆分布：量测一种元素在膜中的浓度；
◆结合状态：量测原子怎样互相结合形成一种材料；
◆分界面状态：量测两种膜之间层的状态；
◆表面情况：量测表面层的纯度。
技术参数：
VeraFlex是一个广泛适用、可以量测product wafer和对材料没有破坏性的量测系统。它的出现满足了对先进材料进行量测的要求。VeraFlex有能力对超薄膜和原子水平的材料进行量测，以满足下一代半导体的生产要求。
在生产中，VeraFlex可以监控、量测和控制精密的材料制程。
对新的应用的探索将满足客户对65nm、45nm以及更精密制程的需求。
主要特点：
◆结合状态：量测原子怎样互相结合形成一种材料；
◆分界面状态：量测两种膜之间层的状态；
◆表面情况：量测表面层的纯度；
◆Small spot size：直接量测pattern wafer；
◆zMAX：核心元素的质心的量测。
Revera量测设备信息由新耕（上海）贸易有限公司为您提供，如您想了解更多关于Revera量测设备报价、型号、参数等信息，新耕贸易客服电话：400-860-5168转1185，欢迎来电或留言咨询。
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