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采用进口品牌高性能旋片泵产生一个洁净的< 1-2 Pa的真空压强，通常抽真空时间小于3-5分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源，确保恒定镀膜沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率和样品温度敏感的SEM 扫描电镜样品的喷金、铂等用途。触摸屏自动控制，即插即用。
规格参数
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