仪器对比
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仪器简介：
广泛适用于研发，高能物理，环境，清洁度检测。
应用领域：
真空残余气体分析 超高真空残余气体分析 溅射过程气体分析 蒸发材料气体分析
等离子体过程气体分析 在线气体分析 微量夹杂气体分析 呼吸气体分析
充气气体成分分析 同位素分析 光学镜片清洁度检测 电子显微镜水分检测
半导体基片清洁度检测
技术参数：
1.质量数范围 amu 1-100,1-200,1-300
2.检测器 法拉第/通道倍增器
3.检测极限 mbar <2*10-11/<10-14
4.Ar的灵敏度 A/mbar >5*10-4/200
5.最大工作压强 mbar 1*10-4/1*10-5
主要特点：
1.紧凑－－易于和真空系统集成；高灵敏度和高检测极限；视窗软件，功能齐全。
2.64种常用气体谱图；专门的残余气体分析模块，分压检测；双灯丝。
3.双路模拟输入和四路模拟输出信号；双路数字输出信号，可外控启动。
4.快速放大，高动态范围，自动切换电子学零漂。
5.耐烘烤温度最高达到300℃，90度转角空间节省型可选。
广泛适用于研发，高能物理，环境，清洁度检测。
应用领域：
真空残余气体分析 超高真空残余气体分析 溅射过程气体分析 蒸发材料气体分析
等离子体过程气体分析 在线气体分析 微量夹杂气体分析 呼吸气体分析
充气气体成分分析 同位素分析 光学镜片清洁度检测 电子显微镜水分检测
半导体基片清洁度检测
技术参数：
1.质量数范围 amu 1-100,1-200,1-300
2.检测器 法拉第/通道倍增器
3.检测极限 mbar <2*10-11/<10-14
4.Ar的灵敏度 A/mbar >5*10-4/200
5.最大工作压强 mbar 1*10-4/1*10-5
主要特点：
1.紧凑－－易于和真空系统集成；高灵敏度和高检测极限；视窗软件，功能齐全。
2.64种常用气体谱图；专门的残余气体分析模块，分压检测；双灯丝。
3.双路模拟输入和四路模拟输出信号；双路数字输出信号，可外控启动。
4.快速放大，高动态范围，自动切换电子学零漂。
5.耐烘烤温度最高达到300℃，90度转角空间节省型可选。
PrismaTM---真空残余气体质谱信息由瑞士安维应用真空实业公司北京代表处为您提供，如您想了解更多关于PrismaTM---真空残余气体质谱报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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