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高纯气体分析专用
- 仪器的应用范围：
1.本仪器主要应用于高纯硅烷气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表：
| 气体种类 | 需分析的杂质种类 | |||||||||
| He | H2 | O2 | Ar | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2 | C3 | SimHn |
|
仪器的最小 检测限（PPb） |
15 | 30 | 10 | 50 | 10 | 10 | 30 | 30 | 50 | |
二.系统依据的相关标准:
1、电子气标准
GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》
2.仪器的详细配置（供货明细）：
|
仪器名称 型号规格 |
厂家 | 单位 | 数量 | 备注 |
| 氦离子化气相色谱仪GC-126PDD |
上分厂/ 克柔姆 |
台 | 1 | 配备PDHID氦离子化检测器 |
|
多柱箱系统 |
上分厂/ 克柔姆 |
套 |
1 |
可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度，以满足样品分离的需要 |
|
中心切割与 反吹系统: 吹扫十通阀2只; 吹扫六通阀3只. |
VALCO |
套 |
1 |
配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀：一次进样，无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。 |
| 专用毛细管色谱分离系统 | VALCO | 套 | 1 |
用于分离硅烷中的微量： 甲硅醚；甲基硅烷；乙硅烷 |
|
色谱柱: Hayesep -Q Hayesep -DB 5A;硅烷毛细管柱 |
VALCO |
根 |
6 |
1.可分离样品中的H2、O2 (Ar)、N2、CO、CO2、CH4等杂质 2.CO拖尾处理技术 |
| 硅烷取样系统 | 克柔姆 | 套 | 1 |
专为高纯硅烷色谱分析设计 含吹扫气路与取样气路。 |
|
载气(He)纯化器: HP-2 |
VALCO | 台 | 1 | He中杂质含量≤10ppb |
| 载气过滤器 | VALCO | 个 | 1 | 2μm孔径 |
| 样品过滤器 | VALCO | 个 | 1 | 2μm孔径 |
|
标准气体: (10PPM) |
克柔姆 | 套 | 1 |
含: H2, O2, Ar, N2, CO, CH4, CO2 |
| 高纯氦气:40L | 用户自备 | 瓶 | 1+1 | 纯度不低于99.999% |
| 高纯氮气:40L | 用户自备 | 瓶 | 1 | 作为VALCO吹扫阀的保护及驱动气使用 |
| 无死体积专用取样阀带吹扫1/8”口 | 克柔姆 | 个 | 4 | 取样时防止空气渗入，带放空结构设计 |
| 载气专用两级不锈钢减压阀1/16”口 | HORO | 个 | 2 | 配:进口 |
| 载气四通切换阀 | 1/16”口 | 只 | 1 | 配:进口 |
|
高纯气专用 色谱工作站 |
克柔姆 | 套 | 1 | 自动控制切割、反吹、进样等过程；并实现对色谱主机的操作控制 |
| 电脑与打印机 | 联想/HP | 台 | 1 | 可另选配 |
| 安装调试费：免费 | ||||
| 技术服务及培训费：免费(1.发货前;2.安装调试中;3.公司定期办培训班时.) | ||||
| 随机备品、备件、工具、材料费（附件四）：随机 | ||||
有机杂质图谱
典型用户
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 浙江赛林硅业有限公司 | 2012-07-20 |
高纯硅烷杂质分析氦离子专用色谱仪信息由杭州克柔姆色谱科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于高纯硅烷杂质分析氦离子专用色谱仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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