Mini-ODS臭氧系统是一套先进的臭氧传输系统,产生臭氧以满足ALD,THEOS,MOCVD,Photoresist Stripping,表面处理和其他半导体领域的应用。它是一套非常紧凑的臭氧传输系统包含了高纯度臭氧发生器,高浓度臭氧检测仪,基于微机处理技术的SCI-TURBO-L控制器和所有必要的阀门、管件等。它的设计典型应用于对臭氧浓度要求高的领域,21%或更高。Mini-ODS系统结构紧凑、重量轻,包含了非平行性能的手持式优点,所有这些都使它优于市场上的同类臭氧系统。此系统使用方便,并可以根据客户需求提供定制化服务。Mini-ODS系统具有良好的扩展性,支持追加独立的臭氧发生器以满足不同臭氧浓度和流量的要求;在WET BENCH应用中,支持追加在线溶解臭氧分析仪;支持追加多通道臭氧泄露检测仪和臭氧尾气处理器。
特点:
结构紧凑
产生臭氧浓度超过21%W/W
19英寸尺寸壁挂型和桌面型
低成本/无耗
系统包含:
高纯度臭氧发生器
高浓度臭氧分析仪
闭环式伺服控制器
氧气MFC
氮气MFC
背压式压力调节阀
电磁阀
选项:
臭氧破坏器
溶解臭氧分析仪
臭氧泄露检测仪
可扩展的臭氧发生器
技术规格:
臭氧浓度: 超过330g/Nm3或21.5%w/w
臭氧流量: 最优于1SLPM(其他流量亦可)
臭氧出口压力: 15-40PSIG(典型压力为30PSIG)
环境温度: 5-35摄氏度
进气:
氧气要求: 6个9纯度或高于
氮气纯度: 5个9纯度或高于
冷却水温度: 17-20摄氏度
冷却水流量: 根据结构设计来
控制器: 全自动闭环伺服回路
用户设置:
发生器功率
气体流量
臭氧浓度
(同时独立控制两台臭氧发生器)
分析仪: 紫外线法高度臭氧分析仪-GFFOZ
紫外线法高浓度溶解臭氧分析仪-Dffoz(可选项)
气体流量控制器: O2和N2的MFC
调压阀: 背压式调压阀
显示: 20位 LCD显示
模拟输出: 4-20MA或0-10VDC
数字I/O: RS232-C
诊断: 内部诊断
设备错误延迟
电力: 208-240VAC 1或3相
尺寸: 19" x 13.7" x 18"(W x H x D) 48cm x 35cm x 46cm
相关产品