型 号
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AFS 1 传感器
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AFS 2传感器
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TFS传感器
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测量范围nm
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±500 / ±50
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±1000 / ±100
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±500 / ±50
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垂直分辨率nm
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1
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1
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工作距离mm
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2
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2
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13
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激光班直径(约)µm
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0.5
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0.5
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1
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最大测量频率* kHz
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20
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20
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20
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最大视场倾角** °
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20
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20
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15
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激光波长nm
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635
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635
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635
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激光等级
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1
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1
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1
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外形尺寸mm
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52 x 25 x 58
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52 x 25 x 58
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52 x 25 x 58
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重量(约)g
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100
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100
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100
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