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物理气相沉积指薄膜沉积中只涉及纯粹的物理过程，比如高温蒸发，
或者离子束轰击等，而没有化学反应过程。该设备主要应用于，高真
空碳膜镀制，用于电镜样品制备；制备谈支持膜；清洁光阑；碳铂复
形；旋转蒸镀；石棉分析。
或者离子束轰击等，而没有化学反应过程。该设备主要应用于，高真
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形；旋转蒸镀；石棉分析。
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