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氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理,以氦作探索气体,对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体,对大气无污染,使用安全;氦原子量小、粘度小,易渗透过任何可能存在的漏率,检测灵敏度高、速度快、适用范围广;加之氦在大气中含量少(仅万分之五),离子质量与其它气体离子质量相差很大,不易受干扰,不会错判。
型 号 最小可检漏率Pa.m^3/s ZLS-23B 2·10^-11 ZLS-24C 2·10^-11
油扩散泵型
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普发真空
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