匀胶机(SPIN COATER/SPINNER)
SAWATEC AG成立于1996年。创始人Sawatzki父子将两人在半导体行业长期积累的经验与技术完美的结合,设计制造出一系列半导体相关设备。并以其可靠的,完美的性能,得到业界的好评。
SAWATEC AG 是一家高科技创新型公司,所有产品都是经过精心设计的,具有高质量,高性价比等优点。供应商遍及世界各地。
产品目录
• Hotplate 热板
• Spinner 旋涂机/匀胶机
• Developer 显影机
• 全自动集成系统 Cluster-System
Spin Module SM-180-BT, Stand alone version consisting of:
工艺控制:5.7”单色触摸屏
工艺参数:转速(rpm),加速度,时间(s),滴胶时间(s)
触摸屏或开始开关控制程序开始
最多可设置50个操作程序,每个程序最多可设置24步
工作完毕自动报警功能
POM材质腔最大适合6” 或5”x5” (176mm)样品涂胶
工作腔盖子为玻璃盖,盖子与基片间距可调,气动控制
3 pcs. PE 材质保护衬垫
1 pcs. 真空卡盘, 1英寸卡盘
基片加载方式: 手动
基片真空固定,带安全互锁功能
手动PET材质腔室盖,气体流速可调
主机柜: 不锈钢
设备尺寸: 350x510x402mm (LxBxH) (盖子合上时)
350x510x680mm (LxBxH) (盖子打开时)
最大转速: 10'000 rpm +/- 1 rpm
电源: 240 VAC 50/60Hz 15A
脚踏开关连接插口
真空: tube Ø6/4mm (-0,8bar)
压缩空气或氮气, tube Ø6/4mm (3 bar)(仅带滴胶系统设备需要连接)
废液接口:Ø12mm
排风接口:Ø38mm (20-50m3/h)
重量:大约 29kg
不含滴胶装置,可选配
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