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NanoFocus μSurf（白光扫描轮廓仪）
μSurf结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物鏡垂直移动，以类似断层摄影方式，精确量测物体高度（如下图所示）。 由于使用了共轭焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他同类公司产品使用较多的干涉法相比，可以精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。
技术参数
| Measuring head | |
| Image acquisition module |
Fast digital camera with progressive scan technology, up to 55fps, 512 x 512 Pixel, 10 Bit, Firewire |
| light source, adjustable | High efficiency LED, (λ=505nm), MTBF:50.000h |
| Scan modules | |
| x, y-axis module MS 50 | Precision x, y-table, 50 x 50mm, resolution 0.3μm |
| z-axis module ZN 75 | Precision scanning module, range 75mm, resolution 0.2μm |
| z-axis module NV 250 |
Fast precision scanning module (piezo), measuring range 250μm, resolution < 10nm |
| Optic modules | 1600 S | 800 L / S / XS | 320 L / S / XS | 260 XS |
| Magnification | 10 x | 20 x | 50 x | 60 x |
| Measurement area (x/y)(μm)2 (XY测量范围) | 1600 x 1600 | 800 x 800 | 320 x 320 | 260 x 260 |
| Numerical aperture(NA值) | 0.3 | 0.4 / 0.45 / 0.6 | 0.5 / 0.8 / 0.95 | 0.9 |
|
Working distance(mm) Z方向测量范围 |
11.0 | 12.1 / 3.1 / 0.9 | 10.6 / 1.0 / 0.3 | 0.4 |
| Resolution in z-direction(nm)(Z方向范围分辨率) | 20 | 6 / 5 / 4 | 4 / 2 / 2 | 2 |
|
Resolution in x,y-direction (XY分辨率) (μm) |
3.1 | 1.6 | 0.7 | 0.5 |
| L : long working distance, S : normal working distance, XS : short working distance | ||||
应用
μSurf用来测量表面物理形貌，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本。
精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸;
生命科学：测量stents支架上镀层厚度等
微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等
半导体: 检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计
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