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白光扫描光学轮廓仪

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品牌

暂无

型号

NanoFocus μSurf

产地

欧洲德国

应用领域

暂无
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NanoFocus μSurf(白光扫描轮廓仪)
 
    μSurf结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物鏡垂直移动,以类似断层摄影方式,精确量测物体高度(如下图所示)。 由于使用了共轭焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他同类公司产品使用较多的干涉法相比,可以精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。
 
技术参数
Measuring head  
Image acquisition module Fast digital camera with progressive scan technology, up to 55fps,
512 x 512 Pixel, 10 Bit, Firewire
light source, adjustable High efficiency LED, (λ=505nm), MTBF:50.000h
 
 
Scan modules  
x, y-axis module MS 50 Precision x, y-table, 50 x 50mm, resolution 0.3μm
z-axis module ZN 75 Precision scanning module, range 75mm, resolution 0.2μm
z-axis module NV 250 Fast precision scanning module (piezo),
measuring range 250μm, resolution < 10nm
 
 
Optic modules 1600 S 800 L / S / XS 320 L / S / XS 260 XS
Magnification 10 x 20 x 50 x 60 x
Measurement area (x/y)(μm)2 (XY测量范围) 1600 x 1600 800 x 800 320 x 320 260 x 260
Numerical aperture(NA值) 0.3 0.4 / 0.45 / 0.6 0.5 / 0.8 / 0.95 0.9
Working distance(mm)
Z方向测量范围
11.0 12.1 / 3.1 / 0.9 10.6 / 1.0 / 0.3 0.4
Resolution in z-direction(nm)(Z方向范围分辨率)     20 6 / 5 / 4 4 / 2 / 2 2
Resolution in x,y-direction
(XY分辨率) (μm)
3.1 1.6 0.7 0.5
L : long working distance, S : normal working distance, XS : short working distance
 
 
应用
μSurf用来测量表面物理形貌,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本。
 
精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸;
 
生命科学:测量stents支架上镀层厚度等
 
微电子机械系统:微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等
 
半导体: 检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计
 
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